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548446557金虫 (正式写手)
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PECVD与等离子渗设备的对比
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| 有没有人能列举下 PECVD，等离子辅助CVD与等离子体渗设备的原理相似处与不同处，是否可以一定程度上把等离子体渗设备看做是一个PECVD设备？有这种文献吗？ |
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