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zhaokunming新虫 (小有名气)
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湿法刻蚀中磷酸对氮化硅和硅刻蚀的选择比 已有1人参与
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| 在湿法刻蚀中碰到问题，本来想用热磷酸将氮化硅刻蚀掉，但同时也把硅刻蚀掉了，不知是什么原因，求分析@yswyx |
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2楼2017-01-02 08:47:19
yswyx 
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3楼2017-01-03 15:54:47