24小时热门版块排行榜    

北京石油化工学院2026年研究生招生接收调剂公告
查看: 3780  |  回复: 2

zhaokunming

新虫 (小有名气)

[求助] 湿法刻蚀中磷酸对氮化硅和硅刻蚀的选择比 已有1人参与

在湿法刻蚀中碰到问题,本来想用热磷酸将氮化硅刻蚀掉,但同时也把硅刻蚀掉了,不知是什么原因,求分析@yswyx
回复此楼
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
2楼2017-01-02 08:47:19
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

yswyx

专家顾问 (著名写手)


【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
磷酸腐蚀硅的速率很慢啊,不知道你为什么会遇到这个问题。我们经常遇到的问题是热磷酸腐蚀SiN太慢。
你是怎么判断硅被腐蚀的呢?
3楼2017-01-03 15:54:47
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
相关版块跳转 我要订阅楼主 zhaokunming 的主题更新
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[考研] 265求调剂11408 +3 刘小鹿lu 2026-03-27 3/150 2026-03-27 20:53 by nihaoar
[考研] 289求调剂 +7 新时代材料 2026-03-27 7/350 2026-03-27 18:08 by arrow8852
[考研] 一志愿南昌大学324求调剂 +3 hanamiko 2026-03-27 3/150 2026-03-27 17:08 by lbsjt
[考研] 334求调剂 +3 雨清天晴 2026-03-21 3/150 2026-03-27 11:30 by 不吃魚的貓
[考研] 314求调剂 +3 溪云珂 2026-03-26 3/150 2026-03-27 11:20 by sanrepian
[考研] 325求调剂 +5 李嘉图·S·路 2026-03-23 5/250 2026-03-27 00:42 by wxiongid
[考研] 化学工程085602 305分求调剂 +17 RichLi_ 2026-03-25 17/850 2026-03-26 19:44 by plmuchong
[考研] 一志愿211 初试270分 求调剂 +6 谷雨上岸 2026-03-23 7/350 2026-03-26 18:55 by 不吃魚的貓
[考研] 085602 289分求调剂 +8 WWW西西弗斯 2026-03-24 8/400 2026-03-26 16:33 by 不吃魚的貓
[考研] 085600 材料与化工 329分求调剂 +9 Mr. Z 2026-03-25 9/450 2026-03-26 10:36 by baoball
[考研] 0854AI CV方向招收调剂 +4 章小鱼567 2026-03-23 4/200 2026-03-25 17:04 by CoderLoser
[考研] 一志愿吉林大学材料与化工303分求调剂 +4 为学666 2026-03-24 4/200 2026-03-25 11:27 by BruceLiu320
[考研] 生物学学硕求调剂 +7 小羊睡着了? 2026-03-23 10/500 2026-03-25 02:24 by 清风拂扬。 m
[考研] 305分求调剂(食品工程) +5 Sxy112 2026-03-21 7/350 2026-03-24 12:27 by 544594351
[考博] 26申博自荐 +3 whh869393 2026-03-24 3/150 2026-03-24 09:55 by 21018060
[考研] 384求调剂 +3 子系博 2026-03-22 6/300 2026-03-23 21:45 by 子系博
[论文投稿] 急发核心期刊论文 +3 贤达问津 2026-03-23 5/250 2026-03-23 17:13 by 妹子不好惹
[考研] 生物学调剂 +5 Surekei 2026-03-21 5/250 2026-03-22 14:39 by tcx007
[考研] 材料学硕301分求调剂 +7 Liyouyumairs 2026-03-21 7/350 2026-03-21 22:31 by peike
[考研] 一志愿东华大学控制学硕320求调剂 +3 Grand777 2026-03-21 3/150 2026-03-21 19:23 by 简之-
信息提示
请填处理意见