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王艳丰

新虫 (小有名气)

[求助] 黄色NiO,怎么转变成绿色的NiO(磁控溅射做的)

我使用磁控溅射,靶材是NiO,但是溅射出来的是黄色的,测得电绝缘性差。请问怎么将黄色的NiO,转化成电绝缘性能(绿色的)好的NiO?有没有人遇到相同的问题?可以讨论一下

最好是在低温下转化(小弟已经试过通入O2 40sccm,没有变化)
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王艳丰

新虫 (小有名气)

2楼2017-01-10 10:01:53
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