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北京石油化工学院2026年研究生招生接收调剂公告
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zhang_xl_123

银虫 (小有名气)

[求助] 求解

等离子体刻蚀和反应离子刻蚀的区别?

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dezhuli

金虫 (小有名气)

博士


主要区别看气体是否与被刻蚀的材料反应,这就是化学反应和物理轰击了。

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» 本帖已获得的红花(最新10朵)

2楼2016-12-30 07:25:08
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3楼2016-12-30 08:08:28
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zhang_xl_123

银虫 (小有名气)

送红花一朵
引用回帖:
2楼: Originally posted by dezhuli at 2016-12-30 07:25:08
主要区别看气体是否与被刻蚀的材料反应,这就是化学反应和物理轰击了。

那么仪器应该是不一样的吧?

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4楼2016-12-30 17:43:57
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tiffany123

木虫 (著名写手)

额尔古纳河右岸的露珠。
5楼2016-12-30 18:00:27
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