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ljx3324

新虫 (小有名气)

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帖子: 141
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虫号: 3149526
注册: 2014-04-20
专业: 半导体晶体与薄膜材料

[交流] 二氧化钛干法刻蚀条件已有1人参与

请问二氧化钛，干法刻蚀用什么条件好？希望这个条件刻金比较慢。

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XPS/?λXPS 已经有0人回复

1楼 2016-12-26 16:04:29

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dezhuli

金虫 (小有名气)

博士

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性别: GG
专业: 信息理论与信息系统

干法应该都不行

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2楼2016-12-30 07:26:43

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