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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 二氧化钛 干法刻蚀条件
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ljx3324

新虫 (小有名气)

[交流] 二氧化钛 干法刻蚀条件 已有1人参与

请问二氧化钛，干法刻蚀用什么条件好？希望这个条件刻金比较慢。

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1楼 2016-12-26 16:04:29
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dezhuli

金虫 (小有名气)

博士
干法应该都不行

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2楼2016-12-30 07:26:43
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