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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 半导体 » 请问有没有关于光刻或者刻蚀方面的 英文书籍？
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lwb870525

木虫 (著名写手)

[交流] 请问有没有关于光刻或者刻蚀方面的 英文书籍？

如题，有的话，麻烦提供下作者或者书名，谢谢！
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我是大百菜

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人一旦过于认真，结果往往注定是悲剧；玩世不恭，有时候或许是喜剧，最多也就是部闹剧。喜剧皆大欢喜，闹剧一笑而过，悲剧却是一生的痛，赢得了社会，却输了自己
1楼 2016-12-25 22:55:41
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我是大百菜

新虫 (正式写手)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
楼主，你找到这方面的资料了吗？方便的话分享我一小部分。

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3楼2017-09-06 14:40:54
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yswyx

专家顾问 (著名写手)
★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
lwb870525: 金币+10, 谢谢！ 请问有 etch 相关的英文书吗？ 2016-12-29 21:52:43
principle of lithography.
handbook of micro-lithography
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2楼2016-12-28 16:00:08
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我是大百菜

新虫 (正式写手)
送红花一朵


发自小木虫Android客户端
4楼2017-09-06 14:41:05
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