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关于磁控溅射生长IGZO薄膜靶材变黑的问题。 已有7人参与
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这是我用的IGZO靶材，只用了一次，50W射频溅射的，通的氩气，本底真空大概是6E-6Torr，溅射压强大概是40mTorr，不知道为什么会有黑色，求助！  IMG_1433.JPG |
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 薄膜制备与特性 |
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