| 查看: 2970 | 回复: 9 | ||||
[交流]
关于磁控溅射生长IGZO薄膜靶材变黑的问题。 已有7人参与
|
这是我用的IGZO靶材，只用了一次，50W射频溅射的，通的氩气，本底真空大概是6E-6Torr，溅射压强大概是40mTorr，不知道为什么会有黑色，求助！  IMG_1433.JPG |
回复此楼» 收录本帖的淘帖专辑推荐
 薄膜制备与特性 |
» 猜你喜欢
Visual Minteq软件使用求助
已经有1人回复
-
木质素颗粒SEM制样
已经有1人回复
-
金属材料论文润色/翻译怎么收费?
已经有143人回复
-
材料工程,326分，求调剂
已经有8人回复
-
一志愿南昌大学085601材料专硕，四六级已过
已经有11人回复
-
聚氨酯
已经有5人回复
-
华北理工大学-矿业工程学院接收调剂研究生
已经有0人回复
-
求助磷酸铁锂cif#81-1173
已经有0人回复
-
聚氨酯体系
已经有1人回复
-
聚氨酯体系发泡
已经有4人回复
风雨人生
至尊木虫 (著名写手)
- 应助: 2 (幼儿园)
- 金币: 13841.4
- 红花: 7
- 帖子: 2749
- 在线: 412.9小时
- 虫号: 2080918
- 注册: 2012-10-23
- 性别: GG
- 专业: 功能陶瓷
2楼2016-12-19 21:35:19
3楼2016-12-20 01:02:30
风雨人生
至尊木虫 (著名写手)
- 应助: 2 (幼儿园)
- 金币: 13841.4
- 红花: 7
- 帖子: 2749
- 在线: 412.9小时
- 虫号: 2080918
- 注册: 2012-10-23
- 性别: GG
- 专业: 功能陶瓷
4楼2016-12-20 07:33:27
 |
5楼2016-12-22 10:50:57
6楼2016-12-23 07:36:50
7楼2017-02-23 23:14:20
强哥哥哥
新虫 (著名写手)
- 应助: 0 (幼儿园)
- 金币: 5863.8
- 散金: 25
- 红花: 19
- 帖子: 2375
- 在线: 136.3小时
- 虫号: 4127252
- 注册: 2015-10-08
- 性别: GG
- 专业: 半导体科学与信息器件
8楼2017-03-10 11:51:01
9楼2017-11-01 21:13:10
10楼2020-12-10 00:48:40