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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 材料综合 » 材料物理 » 关于磁控溅射生长IGZO薄膜靶材变黑的问题。
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guorunda123

新虫 (初入文坛)

[交流] 关于磁控溅射生长IGZO薄膜靶材变黑的问题。 已有7人参与

这是我用的IGZO靶材，只用了一次，50W射频溅射的，通的氩气，本底真空大概是6E-6Torr，溅射压强大概是40mTorr，不知道为什么会有黑色，求助！

关于磁控溅射生长IGZO薄膜靶材变黑的问题。
IMG_1433.JPG
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薄膜制备与特性

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1楼 2016-12-19 21:20:06
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风雨人生

至尊木虫 (著名写手)
结瘤了

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天道酬勤
2楼2016-12-19 21:35:19
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guorunda123

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
2楼: Originally posted by 风雨人生 at 2016-12-19 21:35:19
结瘤了

50W 溅射了40分钟就能结瘤成这样吗？手摸上去挺平坦的，好像就是蒙上去一层灰色的物质
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3楼2016-12-20 01:02:30
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风雨人生

至尊木虫 (著名写手)
★
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引用回帖:
3楼: Originally posted by guorunda123 at 2016-12-20 01:02:30
50W 溅射了40分钟就能结瘤成这样吗？手摸上去挺平坦的，好像就是蒙上去一层灰色的物质...

结瘤不仅与溅射参数有关，还与溅射时环境洁净程度、靶材本身质量有关

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天道酬勤
4楼2016-12-20 07:33:27
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wbx9070
5楼2016-12-22 10:50:57
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学无止境YAO

银虫 (小有名气)
★
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之前做我的BTO，比你这黑多了，通点氧气就基本好了

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6楼2016-12-23 07:36:50
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我是传奇well

新虫 (小有名气)
★
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靶材本身有点问题，请问用的是谁家的靶材？

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7楼2017-02-23 23:14:20
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强哥哥哥

新虫 (著名写手)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
表面的物质变了，下次做前要空溅射一会，这种现象很正常

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8楼2017-03-10 11:51:01
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zyc_cy

铁虫 (初入文坛)
★
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请问，你的IGZO靶变黑，是如何处理的？我的IGZO靶也出现这种情况了
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9楼2017-11-01 21:13:10
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匿名

★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
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10楼2020-12-10 00:48:40
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