应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 材料综合 » 材料物理 » 关于磁控溅射生长IGZO薄膜靶材变黑的问题。
101/1返回列表
查看: 2948  |  回复: 9
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看

guorunda123

新虫 (初入文坛)

[交流] 关于磁控溅射生长IGZO薄膜靶材变黑的问题。 已有7人参与

这是我用的IGZO靶材，只用了一次，50W射频溅射的，通的氩气，本底真空大概是6E-6Torr，溅射压强大概是40mTorr，不知道为什么会有黑色，求助！

关于磁控溅射生长IGZO薄膜靶材变黑的问题。
IMG_1433.JPG
回复此楼

» 收录本帖的淘帖专辑推荐

薄膜制备与特性

» 猜你喜欢
1楼 2016-12-19 21:20:06
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

风雨人生

至尊木虫 (著名写手)
结瘤了

发自小木虫Android客户端
回复此楼
天道酬勤
2楼2016-12-19 21:35:19
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

guorunda123

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
2楼: Originally posted by 风雨人生 at 2016-12-19 21:35:19
结瘤了

50W 溅射了40分钟就能结瘤成这样吗？手摸上去挺平坦的，好像就是蒙上去一层灰色的物质
赞一下 回复此楼
3楼2016-12-20 01:02:30
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

风雨人生

至尊木虫 (著名写手)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
引用回帖:
3楼: Originally posted by guorunda123 at 2016-12-20 01:02:30
50W 溅射了40分钟就能结瘤成这样吗？手摸上去挺平坦的，好像就是蒙上去一层灰色的物质...

结瘤不仅与溅射参数有关，还与溅射时环境洁净程度、靶材本身质量有关

发自小木虫Android客户端
赞一下(1人) 回复此楼
天道酬勤
4楼2016-12-20 07:33:27
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

wbx9070
5楼2016-12-22 10:50:57
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

学无止境YAO

银虫 (小有名气)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
之前做我的BTO，比你这黑多了，通点氧气就基本好了

发自小木虫Android客户端
赞一下 回复此楼
6楼2016-12-23 07:36:50
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

我是传奇well

新虫 (小有名气)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
靶材本身有点问题，请问用的是谁家的靶材？

发自小木虫IOS客户端
赞一下 回复此楼
7楼2017-02-23 23:14:20
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

强哥哥哥

新虫 (著名写手)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
表面的物质变了，下次做前要空溅射一会，这种现象很正常

发自小木虫Android客户端
赞一下(1人) 回复此楼
8楼2017-03-10 11:51:01
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

zyc_cy

铁虫 (初入文坛)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
请问，你的IGZO靶变黑，是如何处理的？我的IGZO靶也出现这种情况了
赞一下 回复此楼
9楼2017-11-01 21:13:10
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

匿名

★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
本帖仅楼主可见
赞一下
10楼2020-12-10 00:48:40
已阅   申请MEPI   回复此楼   编辑   查看我的主页
相关版块跳转 我要订阅楼主 guorunda123 的主题更新
101/1返回列表
普通表情 龙 兔 虎 猫 高级回复 (可上传附件)
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[基金申请] 欢迎发来filecode的Mz6后的代码验证其规律 +55 医学老男孩 2026-08-13 123/6150 2026-08-19 23:44 by stan_et
[基金申请] 今天基金会出结果吗？20260819 +13 kkkl_v 2026-08-19 13/650 2026-08-19 22:37 by 宝贝虫子
[基金申请] 时间戳变了，能看出什么问题？ +12 基诺咪客 2026-08-17 16/800 2026-08-19 22:04 by kk 的小木虫
[基金申请] filecode，4个jtjc了 +11 ziyangfang 2026-08-19 13/650 2026-08-19 21:28 by aasahr
[教师之家] 为什么余额宝的年化利率越来越低？主要原因有哪些？ +5 瞬息宇宙 2026-08-15 5/250 2026-08-19 20:23 by super2002521
[基金申请] 今天放榜吗？ +14 布布和一二 2026-08-19 15/750 2026-08-19 18:07 by gltch
[基金申请] filecode=后面第一个是大写字母 +10 wangze12014 2026-08-14 12/600 2026-08-19 16:56 by 苦难博士
[基金申请] 2027广东省杰青 +4 奶牛小黑 2026-08-15 10/500 2026-08-19 11:02 by wanfengnew
[基金申请] 快农历七夕节了，轻松一下，男人悄悄话，女施主请不要进来。 +6 Tide man 2026-08-14 7/350 2026-08-19 09:56 by ZJTJZ
[基金申请] 什么时候开奖？ +6 CrisMessi 2026-08-18 6/300 2026-08-19 08:06 by Equinoxhua
[基金申请] 重要消息，中午系统在维护 +10 yuleib84 2026-08-18 11/550 2026-08-19 07:30 by 羽毛枫f
[基金申请] 明天放榜？ +5 Shxjjxjkx 2026-08-18 5/250 2026-08-18 18:14 by -大大大大大-
[论文投稿] 投稿咨询 +4 wwm09 2026-08-17 6/300 2026-08-18 15:36 by wwm09
[基金申请] 时间戳又变了8-15 +14 archvillain 2026-08-15 26/1300 2026-08-18 13:37 by phantomgost
[基金申请] 今天维护系统维护 祝所有人 高中 +8 gjjjzhong 2026-08-18 9/450 2026-08-18 13:01 by 家与远方
[基金申请] 哪位老哥知道今年的国自然具体哪一天放榜？ +13 Ldrop2023 2026-08-13 16/800 2026-08-18 12:25 by 淀粉搬运工
[基金申请] 93BebMhtakh前后11位开头都是大写 +4 且听虎啸 2026-08-17 5/250 2026-08-18 00:49 by 蔡棒棒菂
[基金申请] 感觉是下周放榜了 +6 angus9576 2026-08-17 11/550 2026-08-17 23:57 by angus9576
[精细化工] 招聘 金属平磨液，抛光液研发工程师 +3 小天0311 2026-08-14 3/150 2026-08-16 07:31 by H9PLUS
[基金申请] 各位道友，我要去昆明玩几天，回来见。 +7 Tide man 2026-08-14 8/400 2026-08-15 01:11 by arzu_hma
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭