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chinadoy1s

铜虫 (初入文坛)

[交流] 求硅片表面处理方法

硅片在使用过程中,与溶液接触不好(主要是无机盐),那位知道较好的处理方法?
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enxilove

金虫 (小有名气)

使用前要先标准清洗(RCA),去除硅片表面的油污染,以及无机杂质离子。与溶液接触不好,多半是表面油层没去干净。
2楼2008-12-08 19:01:49
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