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cogiorough

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[求助] 请问在Si片上长Fe pattern，但是铁上面还长出了非晶碳，是什么原因已有1人参与

要怎么解决呢？

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1楼2016-12-14 12:21:44

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cogiorough

新虫 (小有名气)

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还有非晶碳出现的原因是什么？ @jiagle

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4楼2016-12-14 16:07:13

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jiagle

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【答案】应助回帖

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冰点降温: 金币+2, 谢谢专家回帖解答，辛苦啦！ 2016-12-14 19:41:51
cogiorough(冰点降温代发): 金币+10 2016-12-14 19:42:28
cogiorough: 金币+20, ★★★很有帮助 2016-12-14 21:34:44

如果不用碳源，则可以阻止非晶碳出现。
还有就是利用反应条件，如温度、分压等来避免含C有机基团的碳化。

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2楼2016-12-14 15:16:02

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