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puyiran

新虫 (初入文坛)

[交流] 求助,磁控溅射镀膜出现了这种状况。如图 已有4人参与

膜和基片没有粘附好,有气泡。钨薄膜,60W,0.3Pa

求助,磁控溅射镀膜出现了这种状况。如图
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wxlz

银虫 (小有名气)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
基底没有处理干净,我之前也遇到过相同的情况。你沉积多厚的膜?
2楼2016-12-23 16:19:31
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dezhuli

金虫 (小有名气)

博士



小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
沉积W就会有这样问题,对基底要求高

发自小木虫Android客户端
3楼2016-12-23 18:12:42
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puyiran

新虫 (初入文坛)

引用回帖:
2楼: Originally posted by wxlz at 2016-12-23 16:19:31
基底没有处理干净,我之前也遇到过相同的情况。你沉积多厚的膜?

请问一下你这个问题解决了吗?我沉积100纳米的
4楼2017-01-07 16:44:20
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rryy

新虫 (初入文坛)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
请问磁控溅射镀w膜,基片需要加热么,加热到多少摄氏度呢

发自小木虫Android客户端
5楼2017-03-22 09:23:34
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znop123

铁虫 (小有名气)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
你好。请问一下你这个钨的溅射条件是什么呀?本底真空抽到多少?溅射压强又是多大啊?氩气的几个9的纯度?请教一下,万谢!
6楼2018-06-13 22:08:01
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