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求问SiO2纳米微晶制备FIB方法 已有1人参与
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我一个块状固体样品里含SiO2纳米微晶，想切FIB做透射电镜观察结晶形貌。试过几次发现纳米颗粒在离子束下非常容易非晶化，即便是2kv 。求助大神，哪种技术可以在切出FIB薄片的前提下，还能保持表面不被离子束烧坏，以用来做TEM？我有一个初步想法是，先切稍微厚点的FIB，然后用化学或者其他什么方法减薄，把FIB表面的非晶层去掉，露出内部 的纳米晶质颗粒。可是又不知道具体咋个操作，求问。 |
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