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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 化学化工区 » 工艺技术 » 膜技术 » BHF刻蚀多晶硅和A－Si原因
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zhnagfan

新虫 (初入文坛)

[交流] BHF刻蚀多晶硅和A－Si原因

工艺发现BHF有刻蚀多晶硅，而且刻蚀速率快于氧化硅，望大神告知

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1楼 2016-12-07 15:05:34
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dezhuli

金虫 (小有名气)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
真的吗？这个没听说过呀

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13楼2016-12-08 07:20:14
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zhchzhsh20762楼
2016-12-07 15:27   回复  
zhnagfan(金币+1): 谢谢参与
祝福祝福祝福祝福祝福祝福祝福祝福祝福祝福祝福祝福祝福祝福祝福祝福祝福祝福
青云丹鹤3楼
2016-12-07 15:29   回复  
zhnagfan(金币+1): 谢谢参与
祝福
超级老快4楼
2016-12-07 15:29   回复  
zhnagfan(金币+1): 谢谢参与
shenrenren5楼
2016-12-07 15:30   回复  
zhnagfan(金币+1): 谢谢参与
wtbccq5056楼
2016-12-07 15:35   回复  
zhnagfan(金币+1): 谢谢参与
假大空7楼
2016-12-07 15:40   回复  
zhnagfan(金币+1): 谢谢参与
顶
tan9148楼
2016-12-07 16:18   回复  
zhnagfan(金币+1): 谢谢参与
xhmaohan9楼
2016-12-07 16:23   回复  
zhnagfan(金币+1): 谢谢参与
hydzp10楼
2016-12-07 16:27   回复  
zhnagfan(金币+1): 谢谢参与
a
sz_kebaoyuan11楼
2016-12-07 16:32   回复  
zhnagfan(金币+1): 谢谢参与
xhmaohan12楼
2016-12-07 16:38   回复  
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