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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 化学化工区 » 工艺技术 » 膜技术 » BHF刻蚀多晶硅和A－Si原因
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zhnagfan

新虫 (初入文坛)

[交流] BHF刻蚀多晶硅和A－Si原因

工艺发现BHF有刻蚀多晶硅，而且刻蚀速率快于氧化硅，望大神告知

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1楼 2016-12-07 15:05:34
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dezhuli

金虫 (小有名气)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
真的吗？这个没听说过呀

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13楼2016-12-08 07:20:14
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zhchzhsh20762楼
2016-12-07 15:27   回复  
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青云丹鹤3楼
2016-12-07 15:29   回复  
zhnagfan(金币+1): 谢谢参与
祝福
超级老快4楼
2016-12-07 15:29   回复  
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shenrenren5楼
2016-12-07 15:30   回复  
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wtbccq5056楼
2016-12-07 15:35   回复  
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假大空7楼
2016-12-07 15:40   回复  
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顶
tan9148楼
2016-12-07 16:18   回复  
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xhmaohan9楼
2016-12-07 16:23   回复  
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hydzp10楼
2016-12-07 16:27   回复  
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sz_kebaoyuan11楼
2016-12-07 16:32   回复  
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xhmaohan12楼
2016-12-07 16:38   回复  
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