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ldd307

金虫 (小有名气)

[求助] 求助气相沉积法的相关知识

求助TiCl4、CH4、H2和N2气相沉积法制备碳化钛时,加入H2和N2的作用,谢谢!
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李安琪

禁虫 (著名写手)

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2楼2016-12-05 14:52:48
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ldd307

金虫 (小有名气)

引用回帖:
2楼: Originally posted by 李安琪 at 2016-12-05 14:52:48
氢气催化,氮气保护

如果不加氢气反应是否可以进行?
3楼2016-12-06 15:16:31
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李安琪

禁虫 (著名写手)

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4楼2016-12-06 16:32:19
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