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薄膜下表面包覆程度已有1人参与
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用ald方法在衬底表面生长薄膜，上表面覆盖率是百分之百，根据温度，压强，脉冲时间增加，下表面也有不同程度的扩散，包覆延伸面积随工艺参数改变而大小不同，请问，这是什么原理造成的呢？ @hwweven 发自小木虫IOS客户端 |
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2楼2016-12-28 12:19:11