24小时热门版块排行榜    

查看: 414  |  回复: 1

流星蝴蝶结呀

新虫 (初入文坛)

[求助] 薄膜下表面包覆程度 已有1人参与

用ald方法在衬底表面生长薄膜,上表面覆盖率是百分之百,根据温度,压强,脉冲时间增加,下表面也有不同程度的扩散,包覆延伸面积随工艺参数改变而大小不同,请问,这是什么原理造成的呢?

@hwweven 发自小木虫IOS客户端
回复此楼
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

顾小北北北

木虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

就是由ALD的原理决定的呀,ALD的原理就是A源和B源依次分别进入腔体,当A进入后,purge,再B进入,purge。源每次进入后,都会在腔体所有表面进行化学吸附(chemiadsorption),工艺做得好的话会有一个饱和(saturation),purge的目的就是把多余的源吹扫干净,再让下一个源进入。所以ALD在填槽填凹坑、包覆纳米线等方面是有很好的应用的,因为所有表面都会均匀长膜,包括上表面、下表面、垂直表面。希望对你有帮助。
2楼2016-12-28 12:19:11
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
相关版块跳转 我要订阅楼主 流星蝴蝶结呀 的主题更新
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[考研] 341求调剂(一志愿湖南大学070300) +4 番茄头--- 2026-03-22 5/250 2026-03-23 21:59 by fuyu_
[考研] 384求调剂 +3 子系博 2026-03-22 6/300 2026-03-23 21:45 by 子系博
[考研] 生物学学硕求调剂 +4 小羊睡着了? 2026-03-23 4/200 2026-03-23 21:42 by hyzs6688
[考研] 265求调剂 +10 梁梁校校 2026-03-17 10/500 2026-03-23 21:17 by 一切OK
[考研] 求调剂材料学硕080500,总分289分 5+3 @taotao 2026-03-19 21/1050 2026-03-23 10:17 by 冠c哥
[考研] 070300,一志愿北航320求调剂 +3 Jerry0216 2026-03-22 5/250 2026-03-23 09:16 by 。。堂堂
[考研] 352求调剂 +3 大米饭! 2026-03-22 3/150 2026-03-22 23:28 by king123!
[考研] 280分求调剂 一志愿085802 +4 PUMPT 2026-03-22 7/350 2026-03-22 22:13 by 星空星月
[考研] 269专硕求调剂 +6 金恩贝 2026-03-21 6/300 2026-03-22 14:31 by ColorlessPI
[考研] 268求调剂 +9 简单点0 2026-03-17 9/450 2026-03-21 15:37 by lature00
[考研] 材料 336 求调剂 +3 An@. 2026-03-18 4/200 2026-03-21 01:39 by JourneyLucky
[考研] 324分 085600材料化工求调剂 +4 llllkkkhh 2026-03-18 4/200 2026-03-21 01:24 by JourneyLucky
[考研] 一志愿华中科技大学,080502,354分求调剂 +5 守候夕阳CF 2026-03-18 5/250 2026-03-21 01:06 by JourneyLucky
[考研] 296求调剂 +6 www_q 2026-03-18 10/500 2026-03-20 23:56 by JourneyLucky
[考研] 295求调剂 +4 一志愿京区211 2026-03-18 6/300 2026-03-20 23:41 by JourneyLucky
[考研] 308求调剂 +3 阿姐阿姐家啊 2026-03-18 3/150 2026-03-20 23:24 by JourneyLucky
[考研] 一志愿武汉理工材料工程专硕调剂 +9 Doleres 2026-03-19 9/450 2026-03-20 22:36 by JourneyLucky
[考研] 317求调剂 +5 申子申申 2026-03-19 9/450 2026-03-20 22:26 by JourneyLucky
[考研] 材料学硕297已过四六级求调剂推荐 +11 adaie 2026-03-19 11/550 2026-03-20 21:30 by laoshidan
[考研] 085410人工智能专硕317求调剂(0854都可以) +4 xbxudjdn 2026-03-18 4/200 2026-03-20 09:07 by 不168
信息提示
请填处理意见