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关于旋涂法的基底粗糙度问题
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想分别用玻璃片基底和硅基底做旋涂，请教一下一般这类玻璃片和硅片的粗糙度分别是多少？ 另外，不同基底对旋涂效果的影响因素是什么，粗糙度，疏水性？ 有没有相关论文，谢谢。 |
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