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关于旋涂法的基底粗糙度问题
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想分别用玻璃片基底和硅基底做旋涂,请教一下一般这类玻璃片和硅片的粗糙度分别是多少? 另外,不同基底对旋涂效果的影响因素是什么,粗糙度,疏水性? 有没有相关论文,谢谢。 |
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2楼2017-01-07 09:56:53













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