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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳器件 » 多层湿法腐蚀方法
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kingskyfull

金虫 (小有名气)

[求助] 多层湿法腐蚀方法

所做的器件为交替的非晶硅和氮化硅多层结构，想要将其分割成阵列化，应该怎么办，用湿法和干法哪个好？
急急急急急急，毕业啊
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kingskyfull

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1楼 2016-11-30 10:51:08
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dezhuli

金虫 (小有名气)

博士
干法RIE刻蚀

发自小木虫Android客户端
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2楼2016-12-08 07:45:34
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kingskyfull

金虫 (小有名气)
引用回帖:
2楼: Originally posted by dezhuli at 2016-12-08 07:45:34
干法RIE刻蚀

谢谢，但实验室只有湿法条件，用湿法不能实现吗？
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3楼2016-12-08 10:18:18
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dezhuli

金虫 (小有名气)

博士
引用回帖:
3楼: Originally posted by kingskyfull at 2016-12-08 10:18:18
谢谢，但实验室只有湿法条件，用湿法不能实现吗？...

湿法先用HF配比或者BOE和KOH腐蚀
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4楼2016-12-08 11:13:01
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kingskyfull

金虫 (小有名气)
送红花一朵
лл
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5楼2016-12-09 09:31:04
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