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kingskyfull

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[求助] 多层湿法腐蚀方法

所做的器件为交替的非晶硅和氮化硅多层结构，想要将其分割成阵列化，应该怎么办，用湿法和干法哪个好？
急急急急急急，毕业啊

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1楼 2016-11-30 10:51:08

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干法RIE刻蚀

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2楼2016-12-08 07:45:34

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2楼: Originally posted by dezhuli at 2016-12-08 07:45:34
干法RIE刻蚀

谢谢，但实验室只有湿法条件，用湿法不能实现吗？

3楼2016-12-08 10:18:18

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dezhuli

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引用回帖:

3楼: Originally posted by kingskyfull at 2016-12-08 10:18:18
谢谢，但实验室只有湿法条件，用湿法不能实现吗？...

湿法先用HF配比或者BOE和KOH腐蚀

4楼2016-12-08 11:13:01

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kingskyfull

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лл

5楼2016-12-09 09:31:04

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