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kingskyfull

金虫 (小有名气)

[求助] 多层湿法腐蚀方法

所做的器件为交替的非晶硅和氮化硅多层结构,想要将其分割成阵列化,应该怎么办,用湿法和干法哪个好?
急急急急急急,毕业啊
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dezhuli

金虫 (小有名气)

博士


2楼2016-12-08 07:45:34
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kingskyfull

金虫 (小有名气)

引用回帖:
2楼: Originally posted by dezhuli at 2016-12-08 07:45:34
干法RIE刻蚀

谢谢,但实验室只有湿法条件,用湿法不能实现吗?
3楼2016-12-08 10:18:18
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dezhuli

金虫 (小有名气)

博士


引用回帖:
3楼: Originally posted by kingskyfull at 2016-12-08 10:18:18
谢谢,但实验室只有湿法条件,用湿法不能实现吗?...

湿法先用HF配比或者BOE和KOH腐蚀
4楼2016-12-08 11:13:01
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kingskyfull

金虫 (小有名气)

送红花一朵
лл
5楼2016-12-09 09:31:04
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