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磁控溅射工艺对晶格参数的影响多大
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磁控溅射,工艺参数对薄膜影响最大。如基片温度高时,形成薄膜晶粒 更好些,温度低时非晶更明显。但是一般情况下都是非晶的。
发自小木虫Android客户端
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9楼
2016-11-30 07:18:31
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10楼
:
Originally posted by
xsw1DQK3y491
at 2016-11-30 08:27:33
那对晶格参数的影响呢
...
不好意 不了解
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11楼
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