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【求助】 SU-8胶曝光后为什么显不了影？
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我是做微电铸的，但我两次曝光su-8胶都未能显出来影。我检查了一下前烘、曝光、后烘和显影。都和以前师兄做法相同。 前烘：65°C1小时升温到95°C10小时 显影：7mw/cm2胶厚在500-800μm曝光时间为270-360s。 后烘：在 65℃烘 20min， 然后加热至 95℃烘 60min。 显影：将镍片浸入显影液，30℃，采用超声波震荡 10min。 最后做出来的只是有个图案，但该洗掉的部分却没掉，表面没什么变化。希望这方面的高手能帮我看看到底是哪里出了问题？ 谢谢了！ [ Last edited by wellok101 on 2008-12-4 at 23:29 ] |
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