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请教下磁控溅射镀磁性薄膜
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实验室用磁控溅射镀CoFeB磁性薄膜，发现起辉后辉光较弱，功率不稳定～试了2次都没镀上～后来了解到要使用强磁靶～不太明白，请教下强磁靶这个东东～是磁性较强的永磁铁？采用强磁靶镀普通非磁金属膜有没有影响？ 发自小木虫IOS客户端 |
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