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liushuzhen

[交流] 磁控溅射合金靶材的制备

大家好,谁知道磁控溅射的合金靶材怎么制备啊
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qiqifyc

木虫 (小有名气)

1. 了解你要使用的磁控溅射设备的靶材尺寸(包括直径、厚度范围、是否需要定位孔等,最好有图纸)
2. 熔炼合金,或者购买块体的合金样品,大于需要的大小。
3. 用线切割、切削加工等方法得到需要的尺寸。
4. 靶材表面的打磨和清洗。
有些设备靶材是可以拼接的,就是可以把靶材做成扇形,然后拼成一个圆面。甚至可以不用做合金,直接用两种纯金属,按一定的面积百分比拼成一块完整的靶材,溅射出来就是合金了。
个人拙见。
2楼2008-12-04 18:53:37
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