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[交流] 磁控溅射合金靶材的制备

大家好，谁知道磁控溅射的合金靶材怎么制备啊

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1楼 2008-12-04 18:42:08

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qiqifyc

木虫 (小有名气)

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专业: 金属结构材料

1. 了解你要使用的磁控溅射设备的靶材尺寸（包括直径、厚度范围、是否需要定位孔等，最好有图纸）
2. 熔炼合金，或者购买块体的合金样品，大于需要的大小。
3. 用线切割、切削加工等方法得到需要的尺寸。
4. 靶材表面的打磨和清洗。
有些设备靶材是可以拼接的，就是可以把靶材做成扇形，然后拼成一个圆面。甚至可以不用做合金，直接用两种纯金属，按一定的面积百分比拼成一块完整的靶材，溅射出来就是合金了。
个人拙见。

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2楼2008-12-04 18:53:37

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