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snowymp

新虫 (初入文坛)

[求助] 关于玻璃刻蚀 已有1人参与

看到文献用氢氧化钠溶液刻蚀玻璃再做氟硅烷化处理,自己想做一下,但是文献用的是普通玻璃,我用的是石英玻璃,不知道方法会不会有很大区别?
知道多数情况用氢氟酸,但是氢氟酸刻蚀出来的深度太大,个人希望刻蚀深度在50um以内。希望有经验的大神虫友们分享一下方法不限

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hldj1964

专家顾问 (职业作家)

★
感谢参与,应助指数 +1
snowymp(冰点降温代发): 金币+1 2016-11-28 15:30:48
冰点降温: 应助指数-1, 抱歉,非有效应助。 2016-11-28 15:31:06
石英玻璃是用二氧化硅制造的特种工业技术玻璃,是一种非常优良的基础材料。石英玻璃具有一系列优良的物理化学性能,如:1、耐高温。石英玻璃的软化点温度约1730℃,可在1100℃下长时间使用,短时间最高使用温度可达1450℃。2、耐腐蚀。除氢氟酸外,石英玻璃几乎不与其他酸类物质发生化学反应,其耐酸腐蚀性能优于耐酸陶瓷的30倍,优于不锈钢150倍,尤其是在高温下的化学稳定性,是其它任何工程材料都无法比拟的。3、热稳定性好。石英玻璃的热膨胀系数极小,能承受剧烈的温度变化,将石英玻璃加热至1100℃左右,放入常温水中也不会炸裂。4、透光性能好。石英玻璃在紫外到红外的整个光谱波段都有较好的透光性能,可见光透过率在92%以上,特别是在紫外光谱区,最大透过率可达80%以上。5、电绝缘性能好。飞秒激光脉冲在石英玻璃表面的微刻蚀
从事科研工作数载,现已退休,有一些经验可以奉献给年轻人,但电脑水平不佳,还需学习。
2楼2016-11-28 11:43:32
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huangjinyu

新虫 (小有名气)

楼主您好!我用光刻胶做掩膜版,然后用氢氟酸刻蚀石英,,怎么刻不出来呢?

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3楼2019-05-13 23:11:44
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