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snowymp

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[求助] 关于玻璃刻蚀已有1人参与

看到文献用氢氧化钠溶液刻蚀玻璃再做氟硅烷化处理，自己想做一下，但是文献用的是普通玻璃，我用的是石英玻璃，不知道方法会不会有很大区别？
知道多数情况用氢氟酸，但是氢氟酸刻蚀出来的深度太大，个人希望刻蚀深度在50um以内。希望有经验的大神虫友们分享一下方法不限

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1楼 2016-11-26 13:19:25

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hldj1964

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感谢参与，应助指数 +1
snowymp(冰点降温代发): 金币+1 2016-11-28 15:30:48
冰点降温: 应助指数-1, 抱歉，非有效应助。 2016-11-28 15:31:06

石英玻璃是用二氧化硅制造的特种工业技术玻璃，是一种非常优良的基础材料。石英玻璃具有一系列优良的物理化学性能，如：1、耐高温。石英玻璃的软化点温度约1730℃，可在1100℃下长时间使用，短时间最高使用温度可达1450℃。2、耐腐蚀。除氢氟酸外，石英玻璃几乎不与其他酸类物质发生化学反应，其耐酸腐蚀性能优于耐酸陶瓷的30倍，优于不锈钢150倍，尤其是在高温下的化学稳定性，是其它任何工程材料都无法比拟的。3、热稳定性好。石英玻璃的热膨胀系数极小，能承受剧烈的温度变化，将石英玻璃加热至1100℃左右，放入常温水中也不会炸裂。4、透光性能好。石英玻璃在紫外到红外的整个光谱波段都有较好的透光性能，可见光透过率在92％以上，特别是在紫外光谱区，最大透过率可达80％以上。5、电绝缘性能好。飞秒激光脉冲在石英玻璃表面的微刻蚀