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sgc8500

新虫 (正式写手)

[求助] 二氧化钛薄膜好坏的衡量指标有哪些

做疏松多空的薄膜在其中吸附染料分子,要求比表面积大,起到良好附着、传导的作用。
膜厚,孔隙率(扫描电镜断面),晶相(xrd)这些指标在什么范围内最好
还有什么其它表征的参数吗?

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gulangyu

专家顾问 (小有名气)

博士

请问你用什么方法做的,是磁控溅射吗?还有就是你的问题有点多 ,应针对个别突出问题?
版主
2楼2016-11-26 12:58:37
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sgc8500

新虫 (正式写手)

引用回帖:
2楼: Originally posted by gulangyu at 2016-11-26 12:58:37
请问你用什么方法做的,是磁控溅射吗?还有就是你的问题有点多 ,应针对个别突出问题?

钛酸丁酯配的溶胶旋涂后退火,肉眼看上去还可以。下一步做表征,第一次做,不知道要看些什么

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3楼2016-11-26 15:47:01
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