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使用溅射镀膜制备的Ni薄膜想要测一下里面有没有氧化物
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使用溅射镀膜制备的Ni薄膜想要测一下里面有没有氧化物
使用溅射镀膜制备的Ni薄膜想要测一下里面有没有氧化物,采用XRD手段,需要对Ni薄膜进行退火处理么?大概的退火温度是多少?
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退火干嘛,真空退火还行,空气退火不就被氧化了吗
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2016-11-26 11:39:36
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2楼
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Originally posted by
柯南@新一
at 2016-11-26 11:39:36
退火干嘛,真空退火还行,空气退火不就被氧化了吗
真空退火
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2016-11-28 19:33:39
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Originally posted by
初晴如初
at 2016-11-26 19:21:16
不需要退火。。直接测试xrd
这样不行啊,我测了,因为溅射的薄膜需要退火才能生长晶相吧
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5楼
2016-11-28 19:34:45
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那就是你做出来的是非晶的呗?如果你做的时候真空是好的一般不会有氧的
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2016-11-28 23:00:41
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2016-11-29 09:20:58
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6楼
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Originally posted by
柯南@新一
at 2016-11-28 23:00:41
那就是你做出来的是非晶的呗?如果你做的时候真空是好的一般不会有氧的
想问一下您知道如果我对Ni薄膜进行退火,大概温度是多少么?大概的退火工艺?
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8楼
2016-11-29 13:45:46
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