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直流磁控溅射能否溅射半导体锗靶
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大家好，我们之前用多靶的直流磁控溅射制备耐磨薄膜时掺杂过Si，这次想使用Ge靶，但看到好多文献都是用的射频溅射，想问问直流的一定不能溅射半导体Ge靶吗？ |
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欧姆007
金虫 (小有名气)
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- 专业: 机器人学及机器人技术
才看了一下Ge 它的导电性优于一般非金属 劣于一般金属 估计这个导电性有点尴尬吧 还有它的电子迁移率等机制 不确定能导走电子 安全起见选的射频吧 不过射频的能量也高点 我只是推测啊 毕竟也没接触这个材料 弱弱的问一句 楼主你是做军品的嘛 发自小木虫IOS客户端 |
2楼2016-11-26 23:26:48