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ymmlxy

铜虫 (著名写手)

[交流] ITO上生长一层SiO2

260nm厚的ITO上生长300nm的SiO2,想用刻蚀的方法进行去除SiO2,请问可以使用BOE腐蚀SiO2吗？BOE是否会和ITO反应？
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1楼 2016-11-22 13:36:13
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一色
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2楼2017-03-30 14:48:53
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