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王倩113251

新虫 (小有名气)

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[交流] 请问哪里能测GIXRD ?

大家好！
我制备的薄膜厚度太小，普通XRD测出的基底峰太强，掩盖薄膜的峰。
谁知道除了同步辐射外，北京哪里还有GIXRD啊，掠入角能调到0.3°~0.5°的？

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请问哪里能测GIXRD ? 已经有7人回复

1楼 2016-11-21 14:07:15

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王倩113251

新虫 (小有名气)

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引用回帖:

3楼: Originally posted by 未成曲_调721 at 2016-11-21 14:27:47
你好，你的薄膜的基底是什么？在ITO玻璃上镀的膜能用来测GIXRD吗？

啊，我测过了，用Si, ITO, Si/SiO2都试过。在清华测过普通的GIXRD，打0.5~1度的掠射可以消除基底影响，但是出峰信号不太强。在北京同步辐射那边，用Si/300nm 的SiO2衬底，可以完全避免衬底干扰，且获得较好看的信号；用ITO衬底的话，有时很好，但有时会测到ITO，可能和光源状态和探测器工作模式有关。