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creepon

铁虫 (小有名气)

[求助] 有少于5W美金的光刻机吗,非常一般的那种? 已有2人参与

一台非常一般的光刻机要多少钱?有少于5W美金的吗(最好是国外的牌子),越便宜越好。

就是想做SU-8,能做50um结构就完全可以了。我想了下,感觉我想买的光刻机也就是一个高功率的紫外灯而已。我也不需要什么对准系统啊,真空系统啊,什么显微镜都不用。只要能产生365紫外就好了。图形也是通过掩膜转移到光胶上。我想要的光刻机其实就是一个能定时的高功率紫外灯。

所以,美国有5W美金以下的牌子吗?越便宜越好

多谢
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yswyx

专家顾问 (著名写手)


【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
creepon: 金币+21, ★★★★★最佳答案 2016-12-10 07:13:22
这个干嘛要美国的啊。买个国产的就好了。国产出口美国又不难。
只买一个曝光头的话,一万五美金差不多了。薄胶分辨率做2um,SU8的50微米很容易,我一直在用。
你要是想买的话,可以给我发站内短信,我给你联系方式。
2楼2016-11-22 16:12:56
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光刻电子

禁虫 (正式写手)

本帖内容被屏蔽

3楼2016-12-09 13:46:28
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creepon

铁虫 (小有名气)

引用回帖:
2楼: Originally posted by yswyx at 2016-11-22 16:12:56
这个干嘛要美国的啊。买个国产的就好了。国产出口美国又不难。
只买一个曝光头的话,一万五美金差不多了。薄胶分辨率做2um,SU8的50微米很容易,我一直在用。
你要是想买的话,可以给我发站内短信,我给你联系方式 ...

多谢。你知道可以用普通的PCB版的曝光箱吗,那种好像只要1000块RMB。可以用那个来光刻SU8和AZ吗?我分辨率要求不高,200um就行。
4楼2016-12-10 07:15:39
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exciting73

金虫 (著名写手)


引用回帖:
4楼: Originally posted by creepon at 2016-12-10 07:15:39
多谢。你知道可以用普通的PCB版的曝光箱吗,那种好像只要1000块RMB。可以用那个来光刻SU8和AZ吗?我分辨率要求不高,200um就行。...

这么大尺寸PCB版曝光箱可以了,你把基片和掩模版放好就可以。说实话,你用一个紫外灯就可以搞定
5楼2016-12-12 16:19:44
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robinsun1234

新虫 (初入文坛)

建议你联系一下国内45所的国产光刻机 很多军工研发单位都在用
6楼2017-01-19 16:11:39
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richips

新虫 (初入文坛)

可以联系我,帮你代工呀

发自小木虫Android客户端
7楼2017-03-30 20:05:16
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funsomgo

铜虫 (正式写手)

中科院的URE-2000/17 型紫外光刻机就挺好的!能满足基本需求,我们组好几个师兄自己建实验室都买了。才十万人民币!简直白菜价
一个人的战斗!
8楼2020-09-01 01:01:47
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funsomgo

铜虫 (正式写手)

引用回帖:
8楼: Originally posted by funsomgo at 2020-09-01 01:01:47
中科院的URE-2000/17 型紫外光刻机就挺好的!能满足基本需求,我们组好几个师兄自己建实验室都买了。才十万人民币!简直白菜价

我去,都几年前的帖子了。。。
一个人的战斗!
9楼2020-09-01 01:02:49
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