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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 有少于5W美金的光刻机吗，非常一般的那种？
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creepon

铁虫 (小有名气)

[求助] 有少于5W美金的光刻机吗，非常一般的那种？ 已有2人参与

一台非常一般的光刻机要多少钱？有少于5W美金的吗（最好是国外的牌子），越便宜越好。

就是想做SU-8，能做50um结构就完全可以了。我想了下，感觉我想买的光刻机也就是一个高功率的紫外灯而已。我也不需要什么对准系统啊，真空系统啊，什么显微镜都不用。只要能产生365紫外就好了。图形也是通过掩膜转移到光胶上。我想要的光刻机其实就是一个能定时的高功率紫外灯。

所以，美国有5W美金以下的牌子吗？越便宜越好

多谢
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@keithley

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1楼 2016-11-16 14:05:58
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yswyx

专家顾问 (著名写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
creepon: 金币+21, ★★★★★最佳答案 2016-12-10 07:13:22
这个干嘛要美国的啊。买个国产的就好了。国产出口美国又不难。
只买一个曝光头的话，一万五美金差不多了。薄胶分辨率做2um，SU8的50微米很容易，我一直在用。
你要是想买的话，可以给我发站内短信，我给你联系方式。
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2楼2016-11-22 16:12:56
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光刻电子

禁虫 (正式写手)
本帖内容被屏蔽
3楼2016-12-09 13:46:28
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creepon

铁虫 (小有名气)
引用回帖:
2楼: Originally posted by yswyx at 2016-11-22 16:12:56
这个干嘛要美国的啊。买个国产的就好了。国产出口美国又不难。
只买一个曝光头的话，一万五美金差不多了。薄胶分辨率做2um，SU8的50微米很容易，我一直在用。
你要是想买的话，可以给我发站内短信，我给你联系方式 ...

多谢。你知道可以用普通的PCB版的曝光箱吗，那种好像只要1000块RMB。可以用那个来光刻SU8和AZ吗？我分辨率要求不高，200um就行。
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4楼2016-12-10 07:15:39
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exciting73

金虫 (著名写手)
引用回帖:
4楼: Originally posted by creepon at 2016-12-10 07:15:39
多谢。你知道可以用普通的PCB版的曝光箱吗，那种好像只要1000块RMB。可以用那个来光刻SU8和AZ吗？我分辨率要求不高，200um就行。...

这么大尺寸PCB版曝光箱可以了，你把基片和掩模版放好就可以。说实话，你用一个紫外灯就可以搞定
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5楼2016-12-12 16:19:44
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robinsun1234

新虫 (初入文坛)
建议你联系一下国内45所的国产光刻机 很多军工研发单位都在用
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6楼2017-01-19 16:11:39
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richips

新虫 (初入文坛)
可以联系我，帮你代工呀

发自小木虫Android客户端
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7楼2017-03-30 20:05:16
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funsomgo

铜虫 (正式写手)
中科院的URE-2000/17 型紫外光刻机就挺好的！能满足基本需求，我们组好几个师兄自己建实验室都买了。才十万人民币！简直白菜价
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一个人的战斗！
8楼2020-09-01 01:01:47
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funsomgo

铜虫 (正式写手)
引用回帖:
8楼: Originally posted by funsomgo at 2020-09-01 01:01:47
中科院的URE-2000/17 型紫外光刻机就挺好的！能满足基本需求，我们组好几个师兄自己建实验室都买了。才十万人民币！简直白菜价

我去，都几年前的帖子了。。。
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一个人的战斗！
9楼2020-09-01 01:02:49
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