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wjltheim木虫 (正式写手)
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电子束蒸镀和磁控溅射在同一腔体内可以同时进行吗？
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qfw_68
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有尾巴的青蛙
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不可以同时。因为电子束蒸镀要求气压低，使电子保持一定自由程，否则电子会被散射掉无法蒸镀。另外气压高到一定值电子枪会出现打火现象。而在电子束蒸镀要求的低气压下，磁控溅射无法启辉工作！ 发自小木虫IOS客户端 |
2楼2016-11-16 07:56:16