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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳器件 » 整层石墨烯上做金天线的lift-off工艺,金和石墨烯粘附性不好怎么办
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大毛和二毛

新虫 (初入文坛)

[求助] 整层石墨烯上做金天线的lift-off工艺,金和石墨烯粘附性不好怎么办 已有2人参与

我在氧硅上面转了一层1cm*1cm石墨烯，然后在石墨烯上用AZ5214光刻胶做了光刻图案，是叉指电极结构，特征尺寸最小3微米，然后带胶长了30纳米Ti200纳米Au。最后用丙酮剥离。
    出现的问题是，如果只用丙酮浸泡，在同一个片子上没有石墨烯的区域做的天线图案，也就是氧化硅为衬底，剥离的非常好，图案也很清晰，就算用丙酮使劲冲洗也没事。
    在石墨烯区域上做的图案，叉指电极该被洗掉的区域，将要脱落但是还没脱落，用丙酮冲洗，就会把整片天线大块区域都冲掉了。。。而且，电极区域也出现起皮，起泡（怀疑是光刻胶用显影液泡没有去除干净（显影38秒））。如果不冲洗的话，就一直去不掉。
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1楼 2016-11-15 14:50:37
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exciting73

金虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

★ ★
感谢参与，应助指数 +1
大毛和二毛: 金币+2, ★★★很有帮助 2016-11-22 13:23:55
可能有底膜，显影没显干净。

另外直接长到石墨烯上的金属会很牢固吗？
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2楼2016-11-17 14:54:40
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whyalwaysme

铁虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

★ ★
感谢参与，应助指数 +1
大毛和二毛: 金币+2, ★★★很有帮助 2016-11-22 13:23:43
可以试试别的金属，用Cr/Au可能好些。还有就是作粘附层的金属的厚度可能也有影响
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3楼2016-11-18 09:54:36
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大毛和二毛

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
2楼: Originally posted by exciting73 at 2016-11-17 14:54:40
可能有底膜，显影没显干净。

另外直接长到石墨烯上的金属会很牢固吗？

不牢固，，一般都没有氧硅上的附着性好。而且我的氧硅也不是买的是自己长的，这样石墨烯转到上面再长金属粘附性一般就会更差。
显影确实没有显影到一点残胶都没有的程度，因为我主要考虑的是线宽符合我的要求，电极区域太大了。
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4楼2016-11-22 13:22:56
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exciting73

金虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

引用回帖:
4楼: Originally posted by 大毛和二毛 at 2016-11-22 13:22:56
不牢固，，一般都没有氧硅上的附着性好。而且我的氧硅也不是买的是自己长的，这样石墨烯转到上面再长金属粘附性一般就会更差。
显影确实没有显影到一点残胶都没有的程度，因为我主要考虑的是线宽符合我的要求，电 ...

那把显影时间再延长些，最好把残胶洗净。要不去胶时会连带残胶上面的电极一起洗掉。
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5楼2016-11-23 12:24:07
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捡麦粒

新虫 (初入文坛)
师兄，我一搜光刻，就看到你的帖子了。
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6楼2016-11-26 09:24:14
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科了个研

铁虫 (小有名气)
曝光不充分吧，显影一般都有60s的

发自小木虫IOS客户端
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7楼2016-11-26 11:14:41
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