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整层石墨烯上做金天线的lift-off工艺,金和石墨烯粘附性不好怎么办 已有2人参与
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我在氧硅上面转了一层1cm*1cm石墨烯，然后在石墨烯上用AZ5214光刻胶做了光刻图案，是叉指电极结构，特征尺寸最小3微米，然后带胶长了30纳米Ti200纳米Au。最后用丙酮剥离。 出现的问题是，如果只用丙酮浸泡，在同一个片子上没有石墨烯的区域做的天线图案，也就是氧化硅为衬底，剥离的非常好，图案也很清晰，就算用丙酮使劲冲洗也没事。 在石墨烯区域上做的图案，叉指电极该被洗掉的区域，将要脱落但是还没脱落，用丙酮冲洗，就会把整片天线大块区域都冲掉了。。。而且，电极区域也出现起皮，起泡（怀疑是光刻胶用显影液泡没有去除干净（显影38秒））。如果不冲洗的话，就一直去不掉。 |
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 石墨烯小百科 | 器件 |
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