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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 金属 » 交流互助 » 分子泵停转—惊魂一日—原因分享
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nuaalxn

木虫 (正式写手)

在读研究生

[交流] 分子泵停转—惊魂一日—原因分享 已有4人参与

今天在实验室用沈科仪的磁控溅射炉做镀层。然而……
        分子泵第一次停转，下午两点半，此时抽真空2.5×10^(-3)Pa，分子泵由正常600Hz突然安详平静地自行下降，我们按正常关机程序关机。
       （ 两位研究生学长，两位博士亲自到实验室来看情况。一个分子泵几十万，而且要是被我们几个本科生整坏，多少人开不了题，毕不了业啊！）
         第二次停转，之前我们发现循环冷却水有泄漏，但以前也遇到过。于是向循环系统注水5分钟，再次开机，耗时半小时后，抽真空至2.0×10^(-3)Pa，分子泵再次安详平静的自行停转。我们脸青了。
         第三次停转，再向循环系统注水5分钟，再次开机，不到十几分钟，抽真空至1.0×10^(-3) Pa,分子泵再次安详平静的停转。
          研究生学长分析道：“几次停转与的时间和气压都不一样，应该与气压无关（暂时排除分子泵漏气可能），我们继续加水。”博士通过电话：“再注水十五分钟”。
          最后一次，分子泵一直抽到起辉也没有停转。此时已经到了晚上10：00，感谢研究生师兄，博士生师兄师姐，把我们从崩溃边缘拉回来。
         原因：循环系统漏水过多，导致分子泵工作时过热，启动自保护即自动停止。解决方案就是加水。但要排除是不是漏气，这个很严重。
          注意，如遇这种情况，一定要等分子泵停稳，再关电源，否则分子泵会受损。

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1楼 2016-11-12 22:59:08
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xyzzhlyf

铜虫 (小有名气)
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分子泵没那么脆弱

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nuaalxn
3楼2016-12-02 00:16:30
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xyzzhlyf

铜虫 (小有名气)
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引用回帖:
5楼: Originally posted by nuaalxn at 2016-12-02 07:38:12
不脆弱，但很贵，所以这么“担惊受怕”
...

实验设备损坏是正常的事，按操作规程，小心谨慎。

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6楼2016-12-02 09:55:27
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momocheng

新虫 (初入文坛)
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我用分子泵过程，通气体时一下通的多了，气压都上百了，当时立马就采取措施，后来又抽真空，抽了好久只到一帕，是不是分子泵坏了

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nuaalxn
2楼2016-12-01 22:49:11
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nuaalxn

木虫 (正式写手)

在读研究生
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2楼: Originally posted by momocheng at 2016-12-01 22:49:11
我用分子泵过程，通气体时一下通的多了，气压都上百了，当时立马就采取措施，后来又抽真空，抽了好久只到一帕，是不是分子泵坏了

没有坏，这是正常现象

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4楼2016-12-02 07:22:58
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nuaalxn

木虫 (正式写手)

在读研究生
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引用回帖:
3楼: Originally posted by xyzzhlyf at 2016-12-02 00:16:30
分子泵没那么脆弱

不脆弱，但很贵，所以这么“担惊受怕”

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5楼2016-12-02 07:38:12
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不要这样叫我

铁虫 (著名写手)
★
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我们实验室的磁控炉好像也是这个

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7楼2016-12-02 10:16:33
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不要这样叫我

铁虫 (著名写手)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
原来我们就是我们那个炉子啊  学弟  是不是楼下108那个炉子呀

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nuaalxn
8楼2016-12-02 10:18:39
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nuaalxn

木虫 (正式写手)

在读研究生
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引用回帖:
8楼: Originally posted by 不要这样叫我 at 2016-12-02 10:18:39
原来我们就是我们那个炉子啊  学弟  是不是楼下108那个炉子呀

嗯嗯

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9楼2016-12-02 13:49:43
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nuaalxn

木虫 (正式写手)

在读研究生
引用回帖:
8楼: Originally posted by 不要这样叫我 at 2016-12-02 10:18:39
原来我们就是我们那个炉子啊  学弟  是不是楼下108那个炉子呀

被发现了～

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10楼2016-12-02 13:51:18
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