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nuaalxn木虫 (正式写手)
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分子泵停转—惊魂一日—原因分享 已有4人参与
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今天在实验室用沈科仪的磁控溅射炉做镀层。然而…… 分子泵第一次停转，下午两点半，此时抽真空2.5×10^(-3)Pa，分子泵由正常600Hz突然安详平静地自行下降，我们按正常关机程序关机。 （ 两位研究生学长，两位博士亲自到实验室来看情况。一个分子泵几十万，而且要是被我们几个本科生整坏，多少人开不了题，毕不了业啊！） 第二次停转，之前我们发现循环冷却水有泄漏，但以前也遇到过。于是向循环系统注水5分钟，再次开机，耗时半小时后，抽真空至2.0×10^(-3)Pa，分子泵再次安详平静的自行停转。我们脸青了。 第三次停转，再向循环系统注水5分钟，再次开机，不到十几分钟，抽真空至1.0×10^(-3) Pa,分子泵再次安详平静的停转。 研究生学长分析道：“几次停转与的时间和气压都不一样，应该与气压无关（暂时排除分子泵漏气可能），我们继续加水。”博士通过电话：“再注水十五分钟”。 最后一次，分子泵一直抽到起辉也没有停转。此时已经到了晚上10：00，感谢研究生师兄，博士生师兄师姐，把我们从崩溃边缘拉回来。 原因：循环系统漏水过多，导致分子泵工作时过热，启动自保护即自动停止。解决方案就是加水。但要排除是不是漏气，这个很严重。 注意，如遇这种情况，一定要等分子泵停稳，再关电源，否则分子泵会受损。 发自小木虫Android客户端 |
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nuaalxn3楼2016-12-02 00:16:30
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6楼2016-12-02 09:55:27
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我用分子泵过程，通气体时一下通的多了，气压都上百了，当时立马就采取措施，后来又抽真空，抽了好久只到一帕，是不是分子泵坏了 发自小木虫IOS客户端 |
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2楼2016-12-01 22:49:11
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