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千寻S哀

新虫 (初入文坛)

[求助] 怎么用软件绘制场效应晶体管器件版图

想制作场效应晶体管器件,怎么绘制下面这种版图,看过一些ledit的绘制方法,不太明白,请大神指教

怎么用软件绘制场效应晶体管器件版图
111.jpg
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xiangan315

至尊木虫 (文坛精英)

这个应该是电子束曝光的电极图形,用elphy plus或者raith公司曝光机自带的绘图软件可以实现绘制gds格式的曝光文件,实在不行用cad画完转成gds也行

发自小木虫Android客户端
2楼2016-11-14 13:21:41
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千寻S哀

新虫 (初入文坛)

引用回帖:
2楼: Originally posted by xiangan315 at 2016-11-14 13:21:41
这个应该是电子束曝光的电极图形,用elphy plus或者raith公司曝光机自带的绘图软件可以实现绘制gds格式的曝光文件,实在不行用cad画完转成gds也行

请问,上图中黄色的部分就是要镀电极的区域吗,做器件对两个电极的形状摆放位置有要求吗
3楼2016-11-14 18:18:08
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xiangan315

至尊木虫 (文坛精英)

引用回帖:
3楼: Originally posted by 千寻S哀 at 2016-11-14 18:18:08
请问,上图中黄色的部分就是要镀电极的区域吗,做器件对两个电极的形状摆放位置有要求吗...

黄色部分就是金属电极,蓝绿色三角形应该是目前比较火热的二维材料吧
和材料Contact的区域接触的两个电极位置尽量平行放置,你给的图中十之八九就是做了一个简单的背栅电极的FET器件,平行放置的电极可以提取器件的迁移率,接触电阻什么的。电极制备只要能保证曝光能实现就可以,此外还要考虑后期淀积金属后Lift-off,一般按照上图给的尺度设计即可,电子束曝光精度还是能满足你的要求的
4楼2016-11-14 19:54:10
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