24小时热门版块排行榜    

查看: 1429  |  回复: 3

千寻S哀

新虫 (初入文坛)

[求助] 怎么用软件绘制场效应晶体管器件版图

想制作场效应晶体管器件,怎么绘制下面这种版图,看过一些ledit的绘制方法,不太明白,请大神指教

怎么用软件绘制场效应晶体管器件版图
111.jpg
回复此楼

» 猜你喜欢

已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

xiangan315

至尊木虫 (文坛精英)

这个应该是电子束曝光的电极图形,用elphy plus或者raith公司曝光机自带的绘图软件可以实现绘制gds格式的曝光文件,实在不行用cad画完转成gds也行

发自小木虫Android客户端
2楼2016-11-14 13:21:41
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

千寻S哀

新虫 (初入文坛)

引用回帖:
2楼: Originally posted by xiangan315 at 2016-11-14 13:21:41
这个应该是电子束曝光的电极图形,用elphy plus或者raith公司曝光机自带的绘图软件可以实现绘制gds格式的曝光文件,实在不行用cad画完转成gds也行

请问,上图中黄色的部分就是要镀电极的区域吗,做器件对两个电极的形状摆放位置有要求吗
3楼2016-11-14 18:18:08
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

xiangan315

至尊木虫 (文坛精英)

引用回帖:
3楼: Originally posted by 千寻S哀 at 2016-11-14 18:18:08
请问,上图中黄色的部分就是要镀电极的区域吗,做器件对两个电极的形状摆放位置有要求吗...

黄色部分就是金属电极,蓝绿色三角形应该是目前比较火热的二维材料吧
和材料Contact的区域接触的两个电极位置尽量平行放置,你给的图中十之八九就是做了一个简单的背栅电极的FET器件,平行放置的电极可以提取器件的迁移率,接触电阻什么的。电极制备只要能保证曝光能实现就可以,此外还要考虑后期淀积金属后Lift-off,一般按照上图给的尺度设计即可,电子束曝光精度还是能满足你的要求的
4楼2016-11-14 19:54:10
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
相关版块跳转 我要订阅楼主 学员MP5S8d 的主题更新
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[基金申请] 让我中一个面上吧! +12 大萍1987 2026-08-20 15/750 2026-08-23 20:44 by 大萍1987
[基金申请] 2026年的国家社科基金项目通讯评审的新规则与新动向、新挑战 +4 process2012 2026-08-23 5/250 2026-08-23 19:58 by jurkat.1640
[教师之家] 跳槽后在研项目怎么办? +5 简单化xn 2026-08-22 10/500 2026-08-23 12:38 by 简单化xn
[基金申请] 什么时候开奖? +9 CrisMessi 2026-08-18 10/500 2026-08-23 12:03 by 丶昵称占用
[基金申请] 范进中举一文的中心思想 +3 炎黄贵胄 2026-08-22 4/200 2026-08-22 20:02 by mycsru
[基金申请] filecode,4个jtjc了 +13 ziyangfang 2026-08-19 16/800 2026-08-22 17:08 by WH3796
[基金申请] 人气不行了 +8 fansofjerry 2026-08-21 8/400 2026-08-22 16:30 by zyqchem
[基金申请] 今天基金会出结果吗?20260819 +16 kkkl_v 2026-08-19 17/850 2026-08-22 16:12 by 阿布Abu
[基金申请] 时间戳今天,20号变了 +5 archvillain 2026-08-20 5/250 2026-08-22 06:12 by hui_daxiao
[基金申请] 今日不放榜?网传国自然预计 8 月 27 日可查结果 +16 医学老男孩 2026-08-20 20/1000 2026-08-21 21:13 by Ldrop2023
[基金申请] 科研孤儿太难了 +17 我4大白菜 2026-08-20 18/900 2026-08-21 20:57 by zhangev
[基金申请] 时间戳又变了 +13 wuchongjun 2026-08-20 19/950 2026-08-21 17:21 by 紫杉醇
[基金申请] 感觉是下周放榜了 +7 angus9576 2026-08-17 12/600 2026-08-21 13:38 by weiyin
[基金申请] 我面上完蛋了 +7 且听虎啸 2026-08-20 8/400 2026-08-21 12:31 by 酷酷墨镜
[基金申请] 应该是下周三26日公布了吧? +4 哈哈蛤? 2026-08-21 4/200 2026-08-21 10:58 by Vivilian
[论文投稿] 投稿咨询 +5 wwm09 2026-08-17 7/350 2026-08-21 10:11 by 期刊论文帮手
[基金申请] 今天放榜没戏了吧 +9 yuleib84 2026-08-19 11/550 2026-08-21 10:06 by gltch
[基金申请] 估计是周四 +3 archvillain 2026-08-18 3/150 2026-08-21 01:48 by jnhyjjm
[基金申请] 朋友圈看到的 +6 wangzilk 2026-08-18 8/400 2026-08-19 10:55 by Haru815
[基金申请] 明天放榜? +5 Shxjjxjkx 2026-08-18 5/250 2026-08-18 18:14 by -大大大大大-
信息提示
请填处理意见