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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 纳米台阶高度测量
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ashley_lj

新虫 (小有名气)

[求助] 纳米台阶高度测量 已有5人参与

纳米台阶高度测量可以用台阶仪进行测量，但是测量结果都是误差很多，及时是国外的设备，总是显得数据有些让人觉得不可靠，除了台阶仪，同行还有没有办法？
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1楼 2016-11-10 10:47:19
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鱼肉粥

新虫 (初入文坛)
受教了。

[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
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9楼2016-11-10 16:09:41
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王倩113251

新虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
楼主说的误差大事因为测头与测件相接触造成的测头变形和磨损，使仪器在使用一段时间后测量精度下降。
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2楼2016-11-10 10:49:54
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kiss拉拉拉拉

新虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
楼上正解，还有一种可能就是为了保证耐磨性和刚性而不能做得细小尖锐，如果测头头部曲率半径大于被测表面上微观凹坑的半径必然造成该处测量数据的偏差，所用台阶仪误差大。

[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
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3楼2016-11-10 11:14:14
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kongkong俗

新虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
利用计量型原子力显微镜纳米测量系统进行纳米台阶高度测量，楼主试试。
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4楼2016-11-10 11:26:38
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