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mrhan1993

新虫 (初入文坛)

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[交流] MoO3靶材溅射制备MoOx薄膜相关问题

最近在用三氧化钼靶材变温溅射制备MoOx薄膜，所通气体为Ar气，功率约100W，但遇到一系列问题，本以为所制备得到的MoOx薄膜中x应该在2-3之间，经xps分析发现薄膜严重缺氧，存在很多的氧空位，x约为1.5左右，同时三氧化钼靶材在溅射的时候从原来的淡绿色变黑，接下来想通一点氧气，提高氧的比例，请问有朋友有做三氧化钼相关方面的研究工作的吗，诚心交流。

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1楼 2016-11-09 20:50:35

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