| 查看: 657 | 回复: 0 | |||
[交流]
MoO3靶材溅射制备MoOx薄膜相关问题
|
| 最近在用三氧化钼靶材变温溅射制备MoOx薄膜，所通气体为Ar气，功率约100W，但遇到一系列问题，本以为所制备得到的MoOx薄膜中x应该在2-3之间，经xps分析发现薄膜严重缺氧，存在很多的氧空位，x约为1.5左右，同时三氧化钼靶材在溅射的时候从原来的淡绿色变黑，接下来想通一点氧气，提高氧的比例，请问有朋友有做三氧化钼相关方面的研究工作的吗，诚心交流。 |
回复此楼» 猜你喜欢
测面比电阻，600-850℃
已经有0人回复
-
寻求行程超2.4米，可按美标测几何公差，佛山狮山一带的三坐标设备
已经有2人回复
-
有机高分子材料论文润色/翻译怎么收费?
已经有267人回复
-
寻找做兼职的医学同学，长期的（长三角：血管介入医疗器械方面兼职）
已经有478人回复
-
树脂浇铸体出现纹理问题是什么原因？
已经有5人回复
-
含铝高熵合金 真空感应熔炼
已经有0人回复
-
工作党想考在职研究生
已经有21人回复
-
材料博士申请
已经有21人回复
