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| 导师突发奇想让我模拟所用原子层沉积仪器内部的气体浓度仿真 具体是一个圆柱体反应腔，有气体入口和出口，出口连着持续工作的真空泵，进口进入三甲基铝气体，通过液态三甲基铝在20摄氏度时的蒸汽压产生气体；在通入一定时间三甲基铝后停止并使用氮气清洗反应腔。模拟这个过程能使用组分传输么？入口压力是否就是设置为三甲基铝的蒸汽压？species应该怎么设置？通入三甲基铝时理论只有这种物质，所以species设置进口为1对么？出口部分应该设置为多少合适？看了别的帖子好像出口部分的SPECIES是回流的？由于不是学流体的对这方面知识十分匮乏能有人帮忙解惑么？ |
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