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《微细加工技术》
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主编：刘明、谢常青、王从舜等 出版社：化学工业出版社 出版日期：2004-10 本书针对制造技术的最新进展与需求，以微米尺度零件的加工为主线，力求使读者能较为准确地理解和掌握微机械与微细加工技术的基础知识和常用微细加工方法的基本原理及应用。主要内容包括：微型机械与微细加工的基础知识；微细切削加工;；半导体材料的微细加工技术；微细电加工等微细特种加工技术 |
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