| 查看: 8943 | 回复: 156 | ||||||||
| 【奖励】 本帖被评价128次，作者200923140124增加金币 102 个 | ||||||||
[资源]
《微纳米加工技术及其应用》
|
||||||||
|
微纳米加工技术及其应用 作者：崔铮 出版社：高等教育出版社 出版时间：2005 本书旨在综合介绍近年来微纳米加工技术的进展。全书共分为8章以微纳米加工的关键技术为主线，即微纳米光刻技术，其中包括光学曝光加工，电子束曝光加工，聚焦离子束加工，微纳米图形转移技术，微纳米图形复制技术，重点介绍这写技术的特点，典型设备，关键工艺技术，与其他类似技术的比较，近年来的新发展，未来的发展趋势。在介绍中以国际上近年来发表的文献为基础，包括作者近十余年来在这一领域的研究成果和经验。每一种技术的介绍着重解释清楚基本概念。不偏重于深奥的理论，而侧重于阐述实际应用中所遇到的问题和解决办法。本书的最后一章为微纳米加工技术的应用，包括了当今最热门的高科技领域，如微纳米电子学，高密度磁存储，微机电系统，生物芯片与纳米技术。介绍微纳米加工技术在这些领域的所起的关键作用。全书各章都附有详细的参考文献。本书最后附有中英文名词对照与索引。为读者进一步参阅国外文献资料提供了方便。本书的读者对象为大专院校高年级研究生，大学教师，从事微电子工艺，微系统技术与纳米技术的科学工作者及工程技术人员，从事微电子工艺技术，超大规模集成电路工艺技术的从业人员 回帖是美德  |
回复此楼» 本帖附件资源列表
-
欢迎监督和反馈：小木虫仅提供交流平台，不对该内容负责。
本内容由用户自主发布，如果其内容涉及到知识产权问题，其责任在于用户本人，如对版权有异议，请联系邮箱：xiaomuchong@tal.com - 附件 1 : 微纳米加工技术及其应用.pdf
2016-11-04 19:23:51, 15.27 M
» 收录本帖的淘帖专辑推荐
 书籍下载网站 | 精华网帖收集 | 专业书籍之材料加工 | uicorn3 |
| 能源纳米材料 |
» 本帖已获得的红花（最新10朵）
hzf_055» 猜你喜欢
金属材料论文润色/翻译怎么收费?
已经有203人回复
» 本主题相关商家推荐: (我也要在这里推广)
» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:
微纳米加工技术
已经有8人回复- 《凹凸棒石棒晶束解离及其纳米功能复合材料》出版发行
已经有2人回复
- 《凹凸棒石棒晶束解离及其纳米功能复合材料》出版发行
已经有11人回复
- 微纳加工科学原理-唐天同
已经有405人回复
- 磁学经典《磁电子学》焦正宽, 曹光旱等著，浙江大学出版社（PDF版）
已经有356人回复
- 先进结构陶瓷及其复合材料
已经有641人回复
- 膜技术应用推荐—《微小世界里的新天地--神奇的薄膜》(四色全彩)【转载】
已经有741人回复
- 【资源】《纳米生物分析化学与分子生物学/纳米生物技术丛书》【已搜无重复】
已经有43人回复
87楼2016-12-07 16:09:46
8楼2016-11-06 01:02:45
简单回复
2016-11-05 00:14
回复
五星好评 顶一下，感谢分享！
lwg33楼
2016-11-05 14:49
回复
五星好评 顶一下，感谢分享！
2016-11-05 19:13
回复
五星好评 顶一下，感谢分享！
2016-11-05 19:15
回复
顶一下，感谢分享！
2016-11-05 19:17
回复
顶一下，感谢分享！
yarings7楼
2016-11-06 00:27
回复
五星好评 顶一下，感谢分享！
mijigege9楼
2016-11-06 01:38
回复
五星好评 顶一下，感谢分享！
gengxin6010楼
2016-11-06 10:12
回复
五星好评 顶一下，感谢分享！
supermyth11楼
2016-11-06 10:47
回复
五星好评 顶一下，感谢分享！
hw_zhong12楼
2016-11-06 14:30
回复
五星好评 顶一下，感谢分享！
82400800113楼
2016-11-06 15:16
回复
五星好评 顶一下，感谢分享！
guanyz14楼
2016-11-06 17:11
回复
三星好评 顶一下，感谢分享！
hustoe201115楼
2016-11-06 19:48
回复
五星好评 顶一下，感谢分享！
wangpinger16楼
2016-11-06 20:47
回复
五星好评 顶一下，感谢分享！
lhw796217楼
2016-11-06 21:28
回复
五星好评 顶一下，感谢分享！
yuanbing18楼
2016-11-06 21:34
回复
五星好评 顶一下，感谢分享！
biosensors19楼
2016-11-07 00:03
回复
五星好评 顶一下，感谢分享！
cy1302120220楼
2016-11-07 06:35
回复
五星好评 
ii8899oo21楼
2016-11-07 07:13
回复
五星好评 顶一下，感谢分享！
20092314012422楼
2016-11-07 08:12
回复
zjjxl23楼
2016-11-07 09:15
回复
五星好评 顶一下，感谢分享！
南方部落24楼
2016-11-07 11:07
回复
五星好评 顶一下，感谢分享！
wjqhccd25楼
2016-11-07 11:08
回复
五星好评 顶一下，感谢分享！
dectab26楼
2016-11-07 11:28
回复
五星好评 顶一下，感谢分享！
vaughn27楼
2016-11-07 12:19
回复
五星好评 顶一下，感谢分享！
zju10028楼
2016-11-07 12:33
回复
五星好评 顶一下，感谢分享！
vzyf29楼
2016-11-07 12:50
回复
五星好评 顶一下，感谢分享！
alone785830楼
2016-11-07 16:27
回复
五星好评 顶一下，感谢分享！
c2002z31楼
2016-11-07 18:44
回复
五星好评 顶一下，感谢分享！
隔壁小王32楼
2016-11-07 20:33
回复
五星好评 顶一下，感谢分享！
zhchzhsh207633楼
2016-11-07 21:08
回复
五星好评
寒流3234楼
2016-11-07 21:28
回复
五星好评 顶一下，感谢分享！
14970131935楼
2016-11-07 21:38
回复
五星好评 顶一下，感谢分享！
wendoulin36楼
2016-11-07 22:14
回复
五星好评 谢谢分享
everie37楼
2016-11-08 00:57
回复
五星好评 
Quan.38楼
2016-11-08 05:50
回复
五星好评 顶一下，感谢分享！
madezhang39楼
2016-11-08 08:26
回复
五星好评 顶一下，感谢分享！
155934963840楼
2016-11-08 08:47
回复
五星好评 顶一下，感谢分享！
bobo90941楼
2016-11-08 09:04
回复
五星好评 顶一下，感谢分享！
lunwu42楼
2016-11-08 09:25
回复
五星好评 顶一下，感谢分享！
hazys43楼
2016-11-08 09:55
回复
五星好评 顶一下，感谢分享！
chinachen51844楼
2016-11-08 11:06
回复
五星好评 顶一下，感谢分享！
云端漫步45楼
2016-11-08 13:00
回复
五星好评 顶一下，感谢分享！
vaughn46楼
2016-11-08 13:26
回复
顶一下，感谢分享！
关小楼47楼
2016-11-08 14:49
回复
五星好评 顶一下，感谢分享！
chl559048楼
2016-11-08 16:13
回复
五星好评 顶一下，感谢分享！
yuanbing49楼
2016-11-08 22:19
回复
顶一下，感谢分享！
xlzhao50楼
2016-11-08 22:33
回复
五星好评 顶一下，感谢分享！