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【求助】如何换算不同气体的流量比和分压比
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| 在做sputtering或者CVD时，如何换算不同气体的流量比和分压比？比如Ar流量为10sccm，N2的流量为5sccm，那么氮气的分压比是多少？如何换算？能否给出定量的计算？谢谢！ |
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2楼2008-11-29 17:31:14
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