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金虫 (正式写手)

[交流] 【求助】如何换算不同气体的流量比和分压比

在做sputtering或者CVD时，如何换算不同气体的流量比和分压比？比如Ar流量为10sccm，N2的流量为5sccm，那么氮气的分压比是多少？如何换算？能否给出定量的计算？谢谢！

1楼 2008-11-28 21:20:41

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禁虫 (著名写手)

★ ★ ★
zt970831(金币+3,VIP+0):感谢您的交流

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2楼2008-11-29 17:31:14

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荣誉版主 (著名写手)

骑士II

zt970831(金币+0,VIP+0):感谢您的交流

啊哈，文章中的那些东东只能做参考，不同仪器大小不一样，各气体的气流量和分压比值存在对应关系，你可以认为比值是多少，但是由于压强不能根据气流量来确定还和真空腔的大学等有关，所以看论文里面的只能知道反应气体和溅射其他之间的比值，具体的还要你自己摸索，不知道lz是做什么薄膜的？

3楼2008-11-29 19:52:01

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金虫 (正式写手)

谢谢！楼上的两位兄弟！

4楼2008-12-01 16:07:17

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