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honleer

金虫 (正式写手)

[交流] 【求助】如何换算不同气体的流量比和分压比

在做sputtering或者CVD时，如何换算不同气体的流量比和分压比？比如Ar流量为10sccm，N2的流量为5sccm，那么氮气的分压比是多少？如何换算？能否给出定量的计算？谢谢！
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1楼 2008-11-28 21:20:41
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colbertli

禁虫 (著名写手)
★ ★ ★
zt970831(金币+3,VIP+0):感谢您的交流
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2楼2008-11-29 17:31:14
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ddx-k

荣誉版主 (著名写手)

骑士II
zt970831(金币+0,VIP+0):感谢您的交流
啊哈，文章中的那些东东只能做参考，不同仪器大小不一样，各气体的气流量和分压 比值存在对应关系，你可以认为比值是多少，但是由于压强不能根据气流量来确定还和真空腔的大学等有关，所以看论文里面的只能知道反应气体和溅射其他之间的比值，具体的还要你自己摸索，不知道lz是做什么薄膜的？
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3楼2008-11-29 19:52:01
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honleer

金虫 (正式写手)

谢谢！

谢谢！楼上的两位兄弟！
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4楼2008-12-01 16:07:17
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