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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 综合其他 » 场发射电子显微镜FEM工作原理
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kafeitu

新虫 (小有名气)

[求助] 场发射电子显微镜FEM工作原理 已有1人参与

场发射电子显微镜FEM和场发射扫描电子显微镜FESEM一样吗？场发射显微镜FEM和扫描显微镜SEM有什么不同？FEM的工作原理是什么呢？
急求！！！
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1楼 2016-10-25 21:26:34
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gxytju2008

专家顾问 (文坛精英)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
没听过FEM这个专门的词，顶多可以算FESEM和FETEM的总和
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2楼2016-10-25 23:36:00
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kafeitu

新虫 (小有名气)
引用回帖:
2楼: Originally posted by gxytju2008 at 2016-10-25 23:36:00
没听过FEM这个专门的词，顶多可以算FESEM和FETEM的总和

FESEM的原理您能详细说一下吗，和SEM有什么不同
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3楼2016-10-26 08:29:01
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gxytju2008

专家顾问 (文坛精英)
引用回帖:
3楼: Originally posted by kafeitu at 2016-10-26 08:29:01
FESEM的原理您能详细说一下吗，和SEM有什么不同...

看看书吧，场发射枪的构造和钨丝还有LaB4有啥区别，包括热场发射和冷场发射，不过话说你作为用户不知道这些具体原理也无所谓，你只要知道场发射能到更高分辨率就可以了
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4楼2016-10-26 09:09:50
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kafeitu

新虫 (小有名气)
引用回帖:
4楼: Originally posted by gxytju2008 at 2016-10-26 09:09:50
看看书吧，场发射枪的构造和钨丝还有LaB4有啥区别，包括热场发射和冷场发射，不过话说你作为用户不知道这些具体原理也无所谓，你只要知道场发射能到更高分辨率就可以了...

目前能找到的资料有限，拜托您能大概说一下FESEM和SEM的区别，还有FESEM的原理吗
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5楼2016-10-27 23:19:53
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gxytju2008

专家顾问 (文坛精英)
引用回帖:
5楼: Originally posted by kafeitu at 2016-10-27 23:19:53
目前能找到的资料有限，拜托您能大概说一下FESEM和SEM的区别，还有FESEM的原理吗...

。。建议你找本透射书看吧，在这一两句话讲不清楚，而且也没必要，太多课本都有专门一章讲这些，电子枪的种类，特点等等，FE就是指场发射源，冷场和热场，相比传统电镜灯丝就是亮度更高，束流半径更小，寿命更长等等，缺点就是贵，而且要求真空度高
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6楼2016-10-27 23:36:37
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