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ivyfuji

铁虫 (初入文坛)

[交流] 场发射扫描电镜可以观测深腔样品吗? 已有2人参与

请教大家一个问题,我做一个封装好的传感器芯片的失效分析,但是芯片粘在封装的管壳里拆不了,
管壳有个6x10mm空窗,芯片就在空窗那部分,3x5mm大小,管壳侧壁高4mm
俯视图就是
壳壳壳
壳芯壳
壳片壳
壳壳壳

之前用钨丝灯扫描电镜观测芯片表面,放大到10k倍就再不能放大了,说是镜头要碰到管壳;
现在想用场发射扫描电镜观测芯片表面,至少比10k倍高,请问可以直接拿去做电镜吗?芯片是导电的不用喷金。
我在西安,西工大,请问哪里做场发射电镜效果好?
另外,如果深腔这样还是看不了,我想用激光切割切掉管壳,西安哪里可以做这种微小器件激光切割的?管壳材料是可伐合金。
谢谢!
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gxytju2008

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小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
感觉不容易,考虑切吧还是,就算场发射的话工作距离也远不了太多的,而且工作距离越远分辨率下降很快的
2楼2016-10-25 23:57:13
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ivyfuji

铁虫 (初入文坛)

引用回帖:
2楼: Originally posted by gxytju2008 at 2016-10-25 23:57:13
感觉不容易,考虑切吧还是,就算场发射的话工作距离也远不了太多的,而且工作距离越远分辨率下降很快的

感谢!

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3楼2016-10-26 10:53:57
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helena_huang

新虫 (初入文坛)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
扫描电镜测量过程中,距离发射场源越近的部位信号越强。探测深腔会因为表面和其他上部的干扰,而使得测量图像非常弱,不理想

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4楼2017-05-17 10:45:12
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helena_huang

新虫 (初入文坛)

补充一下,至于哪里做电镜好,中国计量科学研究院有很先进的场发射sem,透射电镜等设备。希望帮到你。

发自小木虫Android客户端
5楼2017-05-17 10:46:31
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