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场发射扫描电镜可以观测深腔样品吗？ 已有2人参与
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请教大家一个问题，我做一个封装好的传感器芯片的失效分析，但是芯片粘在封装的管壳里拆不了， 管壳有个6x10mm空窗，芯片就在空窗那部分，3x5mm大小，管壳侧壁高4mm 俯视图就是 壳壳壳 壳芯壳 壳片壳 壳壳壳 之前用钨丝灯扫描电镜观测芯片表面，放大到10k倍就再不能放大了，说是镜头要碰到管壳； 现在想用场发射扫描电镜观测芯片表面，至少比10k倍高，请问可以直接拿去做电镜吗？芯片是导电的不用喷金。 我在西安，西工大，请问哪里做场发射电镜效果好？ 另外，如果深腔这样还是看不了，我想用激光切割切掉管壳，西安哪里可以做这种微小器件激光切割的？管壳材料是可伐合金。 谢谢！ |
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