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cigit_john

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[求助] 硅和氮化硅的湿法刻蚀问题

最近要做一个器件，需要从背面氮化硅上刻蚀一个几百微米的方形孔，不知道有没人做过类似的工作，有知道的大神希望能指点一下，非常感谢！

@yswyx @dut_ameng 发自小木虫Android客户端

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Actionspeaklouderthanwords

1楼 2016-10-24 18:35:47

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