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cigit_john

新虫 (小有名气)

[求助] 硅和氮化硅的湿法刻蚀问题

最近要做一个器件,需要从背面氮化硅上刻蚀一个几百微米的方形孔,不知道有没人做过类似的工作,有知道的大神希望能指点一下,非常感谢!

@yswyx @dut_ameng 发自小木虫Android客户端
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