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vendor2014

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[求助] 关于靶材的要求....求指点！已有2人参与

有没有同学对靶材有研究的，购买靶材的时候应该要注意些什么，怎么验收，比如说材料纯度，外观，还有靶材的硬度有没有什么要求，尤其是硬度的部分有没有什么说法，对成膜速度还有质量的影响等，希望知道的人能分享下，先谢谢了。

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1楼 2016-10-21 15:26:10

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tmq1988

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【答案】应助回帖

靶材的纯度收到货时很难验证，确实国内的一些厂家会虚高报纯度，可以试着用一些非破坏性的手段来分析，也可以叫厂家随货带一块样品用来分析；外观主要就是按图纸公差来检验吧，再就是平整度，粗糙度，因为靶材溅射中都是需要冷却的，如果平整度不好，会造成靶材过热而开裂，或者影响膜层的质量（当然也有些工艺是需要加热来成膜的）；硬度应该主要就是来避免开裂吧，对成膜应该没什么影响，溅射速率个人认为主要受靶材本身材料影响较大，另就是靶材晶粒大小，是否均匀致密有关吧。

个人观点，如有疑问望大家指正

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2楼2016-10-26 18:15:50

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vendor2014

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引用回帖:

2楼: Originally posted by tmq1988 at 2016-10-26 18:15:50
靶材的纯度收到货时很难验证，确实国内的一些厂家会虚高报纯度，可以试着用一些非破坏性的手段来分析，也可以叫厂家随货带一块样品用来分析；外观主要就是按图纸公差来检验吧，再就是平整度，粗糙度，因为靶材溅射中 ...

感谢回帖啊，大概能明白，除了外观之外，其他就要看人品了。