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北京石油化工学院2026年研究生招生接收调剂公告
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vendor2014

铜虫 (初入文坛)

[求助] 关于靶材的要求....求指点! 已有2人参与

有没有同学对靶材有研究的,购买靶材的时候应该要注意些什么,怎么验收,比如说材料纯度,外观,还有靶材的硬度有没有什么要求,尤其是硬度的部分有没有什么说法,对成膜速度还有质量的影响等,希望知道的人能分享下,先谢谢了。
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tmq1988

捐助贵宾 (初入文坛)

【答案】应助回帖

靶材的纯度收到货时很难验证,确实国内的一些厂家会虚高报纯度,可以试着用一些非破坏性的手段来分析,也可以叫厂家随货带一块样品用来分析;外观主要就是按图纸公差来检验吧,再就是平整度,粗糙度,因为靶材溅射中都是需要冷却的,如果平整度不好,会造成靶材过热而开裂,或者影响膜层的质量(当然也有些工艺是需要加热来成膜的);硬度应该主要就是来避免开裂吧,对成膜应该没什么影响,溅射速率个人认为主要受靶材本身材料影响较大,另就是靶材晶粒大小,是否均匀致密有关吧。

个人观点,如有疑问望大家指正
2楼2016-10-26 18:15:50
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vendor2014

铜虫 (初入文坛)

引用回帖:
2楼: Originally posted by tmq1988 at 2016-10-26 18:15:50
靶材的纯度收到货时很难验证,确实国内的一些厂家会虚高报纯度,可以试着用一些非破坏性的手段来分析,也可以叫厂家随货带一块样品用来分析;外观主要就是按图纸公差来检验吧,再就是平整度,粗糙度,因为靶材溅射中 ...

感谢回帖啊,大概能明白,除了外观之外,其他就要看人品了。
3楼2016-11-02 00:21:19
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vendor2014

铜虫 (初入文坛)

引用回帖:
2楼: Originally posted by tmq1988 at 2016-10-26 18:15:50
靶材的纯度收到货时很难验证,确实国内的一些厂家会虚高报纯度,可以试着用一些非破坏性的手段来分析,也可以叫厂家随货带一块样品用来分析;外观主要就是按图纸公差来检验吧,再就是平整度,粗糙度,因为靶材溅射中 ...

对了,金币系统有自动发放吗?我有不太熟悉流程哈。
4楼2016-11-02 00:24:54
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黄瓜一样冰凉

金虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

引用回帖:
2楼: Originally posted by tmq1988 at 2016-10-26 18:15:50
靶材的纯度收到货时很难验证,确实国内的一些厂家会虚高报纯度,可以试着用一些非破坏性的手段来分析,也可以叫厂家随货带一块样品用来分析;外观主要就是按图纸公差来检验吧,再就是平整度,粗糙度,因为靶材溅射中 ...

同意。 基本上都选择知名的厂商生产的靶材,质量有保证。否则自己去试哪个厂商的东西好,费精力费时间,划不来。
5楼2016-11-02 02:04:29
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黄瓜一样冰凉

金虫 (小有名气)

哦。对了。还有个就是可能靶材的质量影响到你实验可重复性的问题。
6楼2016-11-02 02:07:01
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北京众诚新材

捐助贵宾 (初入文坛)


靶材现在做的都没问题,有问题,售后可以解决

发自小木虫Android客户端
7楼2016-11-30 09:56:23
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