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【请教】纯铝在SiN硅中的扩散
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请教问一下纯铝在SiN硅中的扩散问题，在高温（800度）下纯铝层会穿透SiN硅吗？ [ Last edited by 张甜 on 2008-11-27 at 10:29 ] |
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2楼2009-09-18 15:05:02