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强哥哥哥

新虫 (著名写手)

[求助] PZT单晶电极光刻实验求帮助!已有1人参与

要在PZT单晶上镀电极,但是单晶表面粗糙度很差,甩胶不均匀,而且光刻显影的时候,图形不完整,就是有胶残留,加大显影时间,要做的部分又会被显影掉。该怎么办?

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exciting73

金虫 (著名写手)


【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
把PZT单晶抛光下试试。或者先铺一层非光刻材料,遮盖住单晶表面,使之平整。然后再铺光刻胶。如有需要可站内联系。
2楼2016-10-19 22:39:33
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强哥哥哥

新虫 (著名写手)

先铺一层非光刻胶材料什么意思?

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3楼2016-10-19 22:44:57
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强哥哥哥

新虫 (著名写手)

引用回帖:
2楼: Originally posted by exciting73 at 2016-10-19 22:39:33
把PZT单晶抛光下试试。或者先铺一层非光刻材料,遮盖住单晶表面,使之平整。然后再铺光刻胶。如有需要可站内联系。

先铺一层非光刻胶材料什么意思?

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4楼2016-10-21 22:03:27
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