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酱油终结

铜虫 (正式写手)

[求助] 想在1*1cm的si片上甩膜,si片要做什么处理?

想在1*1cm的si片上甩膜,si片要做什么处理?需要用HF酸洗吗?
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酱油终结

铜虫 (正式写手)

引用回帖:
7楼: Originally posted by 15190052720 at 2016-10-18 23:16:34
哈哈,下次去扬州顺便拜访您哈。

si表面有氧化层,甩上bto薄膜测pe曲线会不会测不出来,今天我用万用表测了一下si片表面测不出电阻。

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9楼2016-10-18 23:19:51
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1102020629

铁杆木虫 (著名写手)

臭氧处理或者等离子体处理下,可提高硅片的亲水性。

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读万卷书,行万里路
2楼2016-10-18 13:11:42
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酱油终结

铜虫 (正式写手)

引用回帖:
2楼: Originally posted by 1102020629 at 2016-10-18 13:11:42
臭氧处理或者等离子体处理下,可提高硅片的亲水性。

嗯,那硅片表面的氧化层需要处理吗?

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3楼2016-10-18 14:51:09
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15190052720

新虫 (正式写手)

用等离子清洗下,增加亲水性。

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4楼2016-10-18 16:30:32
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