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北京石油化工学院2026年研究生招生接收调剂公告
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虫小李

银虫 (初入文坛)

[求助] 哪里可以做MEMS阳极键合代加工? 已有1人参与

想要加工不锈钢和微晶玻璃的阳极键合,不锈钢表面有硅薄膜。

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yswyx

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【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
很难成功的,阳极键合需要表面很好的平坦度和粗糙度,一般不锈钢和微晶玻璃都达不到要求的。即使勉强能键合上,键合强度也低的可怜。
如果你能保证两个材料的表面粗糙度都能达到纳米水平,比如1nm,那么肯定能做。如果10nm以上,那就很难说了。
可以站内联系我,我们有条件做,但是要看你的材料表面

» 本帖已获得的红花(最新10朵)

2楼2016-10-10 10:26:04
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虫小李

银虫 (初入文坛)

送红花一朵
引用回帖:
2楼: Originally posted by yswyx at 2016-10-10 10:26:04
很难成功的,阳极键合需要表面很好的平坦度和粗糙度,一般不锈钢和微晶玻璃都达不到要求的。即使勉强能键合上,键合强度也低的可怜。
如果你能保证两个材料的表面粗糙度都能达到纳米水平,比如1nm,那么肯定能做。 ...

谢谢你

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3楼2016-10-19 15:20:12
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