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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 哪里可以做MEMS阳极键合代加工？
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虫小李

银虫 (初入文坛)

[求助] 哪里可以做MEMS阳极键合代加工？ 已有1人参与

想要加工不锈钢和微晶玻璃的阳极键合，不锈钢表面有硅薄膜。

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1楼 2016-10-08 11:23:02
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yswyx

专家顾问 (著名写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
很难成功的，阳极键合需要表面很好的平坦度和粗糙度，一般不锈钢和微晶玻璃都达不到要求的。即使勉强能键合上，键合强度也低的可怜。
如果你能保证两个材料的表面粗糙度都能达到纳米水平，比如1nm，那么肯定能做。如果10nm以上，那就很难说了。
可以站内联系我，我们有条件做，但是要看你的材料表面
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» 本帖已获得的红花（最新10朵）

虫小李
2楼2016-10-10 10:26:04
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虫小李

银虫 (初入文坛)
送红花一朵
引用回帖:
2楼: Originally posted by yswyx at 2016-10-10 10:26:04
很难成功的，阳极键合需要表面很好的平坦度和粗糙度，一般不锈钢和微晶玻璃都达不到要求的。即使勉强能键合上，键合强度也低的可怜。
如果你能保证两个材料的表面粗糙度都能达到纳米水平，比如1nm，那么肯定能做。 ...

谢谢你

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3楼2016-10-19 15:20:12
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