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有个磁控溅射四氧化三铁薄膜的问题求大神指点 已有1人参与
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| 最近用磁控溅射制备四氧化三铁薄膜，靶用的纯四氧化三铁靶，射频溅射到玻璃衬底上，得到的四氧化三铁薄膜总是黄色的，肯定是氧化了，靶、真空度都没有问题，没开衬底加热。 想不到什么原因，难道是把样品拿出来一瞬间就氧化了吗，有没有了解这个的同学，帮看看可能是哪里的问题，或者这种方法本身就做不出来？ |
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 杂问 |
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2楼2016-10-28 11:33:09