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有个磁控溅射四氧化三铁薄膜的问题求大神指点 已有1人参与
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| 最近用磁控溅射制备四氧化三铁薄膜,靶用的纯四氧化三铁靶,射频溅射到玻璃衬底上,得到的四氧化三铁薄膜总是黄色的,肯定是氧化了,靶、真空度都没有问题,没开衬底加热。 想不到什么原因,难道是把样品拿出来一瞬间就氧化了吗,有没有了解这个的同学,帮看看可能是哪里的问题,或者这种方法本身就做不出来? |
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