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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 材料综合 » 材料物理 » 有个磁控溅射四氧化三铁薄膜的问题求大神指点
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ling2684132

铁虫 (初入文坛)

[交流] 有个磁控溅射四氧化三铁薄膜的问题求大神指点 已有1人参与

最近用磁控溅射制备四氧化三铁薄膜，靶用的纯四氧化三铁靶，射频溅射到玻璃衬底上，得到的四氧化三铁薄膜总是黄色的，肯定是氧化了，靶、真空度都没有问题，没开衬底加热。     想不到什么原因，难道是把样品拿出来一瞬间就氧化了吗，有没有了解这个的同学，帮看看可能是哪里的问题，或者这种方法本身就做不出来？
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杂问

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1楼 2016-10-07 14:48:03
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管振杰

金虫 (初入文坛)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
同学你好，我最近也想溅射磁性膜，你是哪个学校的

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2楼2016-10-28 11:33:09
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