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ling2684132

铁虫 (初入文坛)

[交流] 有个磁控溅射四氧化三铁薄膜的问题求大神指点 已有1人参与

最近用磁控溅射制备四氧化三铁薄膜,靶用的纯四氧化三铁靶,射频溅射到玻璃衬底上,得到的四氧化三铁薄膜总是黄色的,肯定是氧化了,靶、真空度都没有问题,没开衬底加热。     想不到什么原因,难道是把样品拿出来一瞬间就氧化了吗,有没有了解这个的同学,帮看看可能是哪里的问题,或者这种方法本身就做不出来?
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管振杰

金虫 (初入文坛)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
同学你好,我最近也想溅射磁性膜,你是哪个学校的

发自小木虫Android客户端
2楼2016-10-28 11:33:09
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