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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 无机非金属 » 材料测试 » 【请教】薄膜材料的傅里叶红外光谱测试
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ifand

银虫 (小有名气)

[交流] 【请教】薄膜材料的傅里叶红外光谱测试

请教:
  在单晶硅基板上镀膜，采用常规方法测FTIR透射谱时，透过率数据超过100%，测试的老师说数据有问题，但问题在那里，不清楚，可能缺少某个附件。
  请问有谁测过薄膜材料的FTIR图？能不能用常规方法测试？
  我测试时的具体步骤如下：
  （1）测试空白单晶Si基片，做背底
  （2）测试薄膜材料


   期待答复
   不胜感激！！！

[ Last edited by 江南豪情 on 2008-11-26 at 13:13 ]
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1楼 2008-11-24 20:41:47
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cord

铁杆木虫 (著名写手)
以空气为参考的测试
测试的是膜的衬底的共有透过率，硅衬底吸收很强，随意透过率很低
以空白Si基片为参考的测试
测试的是所镀膜本身的透过率
透过率高于100％有以下几个方面：
1） 所镀的膜的厚度在减反的范围，也就是膜有增透的功能
      2K×膜厚＝（2k＋1）×半个波长， K是整数
   提高膜的厚度，一般做FTIR膜的厚度要大于1微米，所得到的数据比较准确
2）所用的参考基片跟用于镀膜的不是同一个基片
   尽量使用同一个硅元上的基片做参考基片和镀膜衬底，最好是用同一个基片，这样获得的数据更准确些
3） 膜与硅衬底发生反应，改变了衬底本身的属性，这个可能性很小
4） 测试的设备本身有问题
引用回帖:
Originally posted by ifand at 2008-11-26 21:41:
谢谢答复
  今天又去测了2个样，分别以空气和空白Si基片作为背底。
  以空气为背底的样品，透过率低于40%，谱带强度较弱。
  以空白Si基片为背底的样品，透过率高于100%，谱带强度较强。
  
  Si基底单面抛 ...

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7楼2008-11-27 00:02:54
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freyalovers

银虫 (小有名气)

很简单

你测试的时候选取的背景样品出问题了。

原来的问题：

你原先测量的时候最终测量的透过率是实际是样品的透过率和硅片透过率的比值，只要样品的透过率比硅片高，测量的透过率超过100%是很正常的。也就是说你测量的时候方法是不正确的。

改进方案：
一般来说，薄膜的透过率指的是以空气作为背景时测量得到的透过率。如果说要测量薄膜的透过率，你可以先不放样品，以空气作为空白样品测量背景（测量的时候注意选择水和二氧化碳校正），之后再放上样品测量，这样就没有任何的问题了。
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2楼2008-11-25 20:07:08
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cord

铁杆木虫 (著名写手)
提个建议
薄膜的透过率是相对于所用衬底的，而不是以空气作为背景
样品总要或多或少的吸收，样品和硅衬底的透过率怎么会比硅衬底本身的透过率高呢？
建议拿标准样品确定测试设备先，再找其它原因。
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3楼2008-11-26 00:31:00
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freyalovers

银虫 (小有名气)

回复2楼

在分析化学中，样品的透过率需要有一个标准样品作为参考。但是在一个衬底上镀膜之后，测量镀膜衬底的透过率时则不能再根据分析化学中的方法了，因为现在需要按照薄膜光学的测量和计算过程进行分析，在薄膜光学体系中，透过率指对空气的透过率(n=1HE)。如果有条件的话，可以参考一下薄膜光学测量方面的书籍，比方说浙江大学刘旭老师编著的《现代光学薄膜技术》。
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4楼2008-11-26 10:36:20
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