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mmmm6593

铁杆木虫 (正式写手)

[求助] 单晶硅衬底上非晶碳材料的拉曼信号咨询

采用PECVD技术,以高纯甲烷为反应气体在单晶硅衬底上沉积非晶碳薄膜,获得的拉曼信号如下,在1350和1550附近没有观察到非晶碳峰,但薄膜确实镀上了,出现这个拉曼信号可能是什么原因,非常期待有大神予以解答,不甚感激!

单晶硅衬底上非晶碳材料的拉曼信号咨询
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