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silentlihang

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[求助] HTO是什么材料已有1人参与

在今年物理年会上听到一种新材料---HTO，不知道是什么，有什么用？

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1楼 2016-09-23 11:28:17

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初次见面

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【答案】应助回帖

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感谢参与，应助指数 +1
silentlihang: 金币+5, ★★★很有帮助 2016-09-27 09:03:12

high-temperature oxidation 高温氧化材料？
在约900℃下氧化物LPCVD（低压CVD）形成。
反应式：SiH2Cl2 + 2N2O → SIO2 + 2N2 + 2HCl
HTO薄膜的优点是薄膜质量高（相似于TOX），同时均匀性极好。缺点是高的淀积温度可能造成下层薄膜出问题及衬底掺杂区杂质扩散。通常，HTO常用作第一层绝缘材料（接触孔蚀刻）或spacers蚀刻。

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