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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 材料综合 » 材料化学 » 硫化锌，会对溅射仪器的腔体产生污染吗
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wqtzzt

金虫 (著名写手)

[求助] 硫化锌，会对溅射仪器的腔体产生污染吗 已有1人参与

磁控溅射，用到靶材ZnS,不知ZnS是否稳定？是否影响仪器的腔体？
多谢．
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1楼 2016-09-22 17:17:33
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wqtzzt

金虫 (著名写手)
送红花一朵
引用回帖:
2楼: Originally posted by 柯南@新一 at 2016-09-23 06:59:03
会稍微有点，影响不大，你可以用锡箔纸把腔壁围起来如果害怕污染的话

有道理啊。
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4楼2016-09-24 00:03:20
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柯南@新一

铁杆木虫 (著名写手)
会稍微有点，影响不大，你可以用锡箔纸把腔壁围起来如果害怕污染的话

发自小木虫Android客户端
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» 本帖已获得的红花（最新10朵）

wqtzzt
2楼2016-09-23 06:59:03
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kangye_1989

木虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
wqtzzt: 金币+10, ★★★很有帮助, 多谢。 2016-09-24 00:04:15
只要是溅射多多少少都 会污染腔体的，你可以向楼上说的，用锡箔包起来
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3楼2016-09-23 08:46:42
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wqtzzt

金虫 (著名写手)
引用回帖:
3楼: Originally posted by kangye_1989 at 2016-09-23 08:46:42
只要是溅射多多少少都 会污染腔体的，你可以向楼上说的，用锡箔包起来

说的是。感谢。
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5楼2016-09-24 00:03:57
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